[发明专利]一种测试探测器像元内不均匀性的装置及方法

权利要求书

1.一种测试探测器像元内不均匀性的方法，其特征在于，所述方法将点光源在探测器像元内成像，利用探测器拍摄得到点光源在像元内不同位置时的像斑图像，分析点光源在像元不同位置处的像斑图像的像斑流量和椭率；

所述方法包括以下步骤：

光源设置：根据探测器选择合适的点光源，使得点光源的像斑尺寸小于探测器像元尺寸；所述点光源在探测器像元内成像；

调焦：移动光轴方向的平台上的所述探测器，探测器实时拍摄点光源成像像斑，计算探测器拍摄像斑的半高全宽，半高全宽数值最小时认为是焦点位置，记录焦点位置，完成调焦；

像斑校准：转动所述探测器，探测器实时拍摄点光源成像像斑，计算探测器拍摄像斑的半高全宽、椭率、流量，当半高全宽、椭率、流量满足阈值时记录调整装置位置，完成像斑校准；

移动拍摄：使探测器沿一定方向按照一定的步长移动并拍摄，得到不同位置处的像斑图像；

数据分析：分析像斑图像的像斑流量和椭率。

2.如权利要求1所述方法，其特征在于，所述光源亮度满足光斑流量为满阱的一半。

3.如权利要求1所述方法，其特征在于，所述移动拍摄步骤中，探测器移动的方向为X方向、Y方向和XY方向。

4.一种用于实现权利要求1-3任一所述测试探测器像元内不均匀性的方法的装置，所述装置包括点光源系统和运动平台；

所述运动平台使得待测的探测器在XYZ三维方向上运动；

所述点光源系统提供小于探测器像元尺寸的像斑，运动平台置于点光源系统一侧，所述点光源在所述探测器的像元内成像；

所述运动平台包括样品台、移动机构和转动机构，所述样品台用于放置待测的探测器而设置，所述移动机构使得所述样品台在XYZ三维方向上移动；所述转动机构使得所述探测器在样品台上转动。

5.如权利要求4所述装置，其特征在于，所述装置包括控制系统，所述控制系统与所述运动平台相连并且控制所述运动平台的运动。

6.如权利要求4所述装置，其特征在于，所述点光源系统包括依次连接的光源、滤光系统、遮光筒和镜头；

所述光源连接有准直器；

所述滤光系统为可拆卸替换的针孔或针孔转轮；

所述遮光筒和镜头间设置有可拆卸替换的光阑或光阑转轮；

所述遮光筒的长度与镜头有关，遮光筒的长度要大于等于镜头的最小对焦距离；

所述运动平台与所述镜头的距离不大于镜头后截距；

针孔的孔径根据不同探测器选择，利用针孔将像斑调至探测器亚像元；

光阑的孔径选择依据像质，需要使虚焦像质中整个圆环的光的能量均匀分布。

7.如权利要求5所述装置，其特征在于，所述控制系统包括分析系统，所述分析系统与所述探测器相连，实时分析所述探测器拍摄的图像的像斑流量和椭率；

所述控制系统可根据所述分析系统的分析结果控制所述移动机构的移动。

8.如权利要求6所述装置，其特征在于，所述光源为LED光源，光源波长为365nm、385nm、405nm、455nm、470nm、505nm、530nm、590nm、617nm、625nm、660nm、730nm、780nm、810nm、850nm、940nm，根据待测探测器和观测需求选择合适光源。