[发明专利]液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法

说明书

本发明提供一种抑制了由树脂构成的基板与其他的基板之间的粘合力的降低的液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法。所述液体喷射头的特征在于，具备：第一基板，其成为流道的空间被形成为在一侧的面上开口的状态；第二基板，其由树脂构成，从第一基板的一侧的面对开口进行密封，并对流道进行划分，第一基板与第二基板经由被层压在第一基板的一侧的面上的由硅酮系粘合剂构成的第一粘合层以及被层压在第一粘合层上的由环氧系粘合剂构成的第二粘合层而被粘合在一起。

技术领域

本发明涉及一种具备由树脂构成的基板的液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法。

背景技术

虽然具备液体喷射头的液体喷射装置例如存在有喷墨式打印机或喷墨式绘图仪等图像记录装置，但最近也利用能够使极少量的液体准确地喷落于预定位置处这一特长而应用在各种制造装置中。例如，被应用于制造液晶显示器等的滤色器的显示器制造装置、形成有机EL(Electro Luminescence，电致发光)显示器或FED(面发光显示器)等电极的电极形成装置、制造生物芯片(生物化学元件)的芯片制造装置中。而且，在图像记录装置中从液体喷射头喷射液状的油墨，在显示器制造装置中从液体喷射头喷射R(Red，红色)、G(Green，绿色)、B(Blue，蓝色)的各种颜色材料的溶液。此外，在电极形成装置中从液体喷射头喷射液状的电极材料，在芯片制造装置中从液体喷射头喷射生物体有机物的溶液。

上述的液体喷射头例如具备喷嘴板、压力室形成基板和连通基板等，其中，在所述喷嘴板上开设有多个喷嘴，在所述压力室形成基板上形成有多个成为与各个喷嘴连通的压力室的空间，在所述连通基板上形成有成为向各个压力室供给液体的共用液室(也称作歧管)的空间。此外，作为液体喷射头，存在由具有挠性的薄膜(即，由树脂构成的薄膜状的基板)对成为共用液室(歧管部)的空间的一部分进行划分的液体喷射头(例如，专利文献1)。液体喷射头利用该薄膜对共用液室内的压力变化进行吸收。此外，作为将这种薄膜与连通基板粘合的粘合剂，使用硅酮系粘合剂(参照专利文献1)。

然而，在使用硅酮系粘合剂进行粘合的情况下，在作为树脂的薄膜中所含有的成分(例如硫(S)、氮(N)、增塑剂等)成为催化剂毒物，从而可能阻碍硅酮系粘合剂的固化，或者导致粘合力降低。尤其在液体喷射头中，由于优选使用加成反应型的硅酮系粘合剂，因此容易产生这种不良现象。

专利文献1：日本特开2016-068539号公报

发明内容

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于，提供一种抑制了由树脂构成的基板与其他基板之间的粘合力的降低的液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法。

本发明的液体喷射头是为了达成上述目的而提出的，其特征在于，具备：第一基板，其成为流道的空间被形成为在一侧的面上开口的状态；第二基板，其由树脂构成，从所述第一基板的所述一侧的面对所述开口进行密封，并对所述流道进行划分，所述第一基板与所述第二基板经由第一粘合层和第二粘合层而被粘合在一起，所述第一粘合层被层压在所述第一基板的所述一侧的面上，并由硅酮系粘合剂构成，所述第二粘合层被层压在所述第一粘合层上，并由环氧系粘合剂构成。

根据该结构，由于第二基板经由作为环氧系粘合剂的第二粘合层而被接合到第一基板侧，因此能够对因树脂中所含有的成分而导致作为硅酮系粘合剂的第一粘合层的粘合力降低的情况进行抑制。其结果为，能够抑制第二基板的剥离，从而能够提高液体喷射头的可靠性。

此外，在上述结构中，优选为，具备第三基板，所述第三基板被粘合于所述第一基板的所述一侧的面上的从粘合有所述第二基板的区域偏离的区域内，所述第一基板与所述第三基板经由被层压在所述第一基板的所述一侧的面上的所述第一粘合层而被粘合在一起。

根据该结构，由于能够使第一粘合层在第一基板与第二基板之间以及第一基板与第三基板之间共用化，因此液体喷射头的结构变得简单。