[发明专利]有机发光显示面板及其制作方法有效
申请号: | 201710631510.2 | 申请日: | 2017-07-28 |
公开(公告)号: | CN107394057B | 公开(公告)日: | 2020-04-03 |
发明(设计)人: | 柴慧平;丁洪;杜凌霄;杨康 | 申请(专利权)人: | 武汉天马微电子有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼 |
地址: | 430074 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 发光 显示 面板 及其 制作方法 | ||
1.一种有机发光显示面板的制作方法,其特征在于,包括:
在基板上的第一膜层形成阴极分割材料块;
在所述第一膜层上形成介质层,所述介质层包括像素定义层;
对所述介质层图案化形成多个介质块,以暴露各所述阴极分割材料块的部分上表面;
蚀刻所述阴极分割材料块以在所述介质块远离所述阴极的表面形成台阶,所述台阶使所述介质块的侧壁形成断差;
蒸镀阴极材料,以形成多个相互分离的阴极;
所述在基板上的第一膜层形成阴极分割材料块进一步包括:
在所述基板上形成阳极层,在所述基板上的阳极层形成阳极和所述阴极分割材料块;
所述对所述介质层图案化形成多个介质块,以暴露各所述阴极分割材料块的部分上表面进一步包括:
采用半色调掩膜版对所述像素定义层进行图案化,所述像素定义层暴露所述阴极分割材料块的部分上表面,且不暴露所述阳极。
2.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,
由蚀刻同一阴极分割材料块形成的两个所述台阶之间的间距大于形成于该两个所述台阶之间的阴极的宽度。
3.根据权利要求1或2所述的制作方法,其特征在于,
所述阳极层包括多个相互分离的阳极;
所述像素定义层包括形成在相邻的像素单元列之间的第一绝缘挡墙和形成在相邻的像素单元行之间的第二绝缘挡墙,在垂直于所述基板的方向上,所述阴极分割材料块与至少一个所述第一绝缘挡墙和/或至少一个所述第二绝缘挡墙至少部分交叠;
在各所述阳极上形成有机发光材料。
4.根据权利要求1或2所述的制作方法,其特征在于,还包括:
在基板上形成像素电路,所述像素电路包括薄膜晶体管和电容,所述薄膜晶体管包括形成在栅极金属层的栅极以及形成在源漏金属层的源极和漏极,所述电容包括形成在电容金属层的极板。
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