[发明专利]炉管清洗装置及炉管清洗方法

说明书

本发明属于太阳能电池加工设备技术领域，特别涉及炉管清洗装置及炉管清洗方法。炉管清洗装置包括箱体、炉管转动机构、内壁清洗机构、外壁清洗机构和清洗液循环系统；炉管转动机构能够带动炉管绕轴线旋转；第一毛刷能够旋转，且能够伸入炉管内腔中做往复运动；第二毛刷能够旋转，且能够与炉管外壁相抵接；酸液管路一端连接酸液容器，另一端穿过箱体的侧壁伸入内腔中；清水管路一端适于连接自来水管路，另一端穿过箱体的侧壁伸入内腔中；所述废排管路一端适于连接废水处理池，另一端穿过箱体的侧壁伸入内腔中。本方案中的清洗装置既能高效、快速的清洗管壁，又能避免管壁腐蚀，而且不存在人员接触酸洗液的风险，避免安全事故。

技术领域

本发明属于太阳能电池加工设备技术领域，特别涉及炉管清洗装置及炉管清洗方法。

背景技术

晶体硅太阳能电池的生产过程分为制绒、扩散、刻蚀、PECVD（Plasma EnhancedChemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气相沉积法）和丝网印刷六道工序，其中扩散工序是指通过高温掺杂的方式在基体硅片表面形成一层具有一定结深和密度梯度的PN结；PECVD工序是指在晶体硅太阳能电池片表面镀一层钝化膜，达到减少反射太阳光的效果。扩散炉是扩散工序和PECVD工序的主体设备，其中石英炉管是扩散炉的重要组件。

石英炉管使用一段时间后，炉管的内外壁会产生沉积物，造成设备性能下降，影响太阳能电池片产品质量，因此需要定期对炉管进行清洗。由于管壁上的沉积物含有大量不溶于水的有机物，因此需要进行酸洗。目前采用的清洗方式存在以下不足：操作人员接触酸洗液存在安全风险，如采用酸洗液浸泡炉管则会引起管壁腐蚀，而且效率低、费时费力。

发明内容

有鉴于此，本发明旨在提供一种既能高效、快速的清洗管壁，又能避免管壁腐蚀，而且能避免人员接触酸洗液的炉管清洗装置和炉管清洗方法。

本发明实施例的第一方面，提供了一种炉管清洗装置，包括：

箱体；

炉管转动机构，设置在所述箱体内腔中，能够带动炉管绕轴线旋转；

内壁清洗机构，设置在所述箱体内腔中，包括第一毛刷，所述第一毛刷能够旋转，且能够伸入炉管内腔中做往复运动；

外壁清洗机构，设置在所述箱体内腔中，包括第二毛刷，所述第二毛刷能够旋转，且能够与炉管外壁相抵接；和

清洗液循环系统，所述清洗液循环系统包括酸液管路、清水管路和废排管路，所述酸液管路一端适于连接酸液容器，另一端穿过所述箱体的侧壁伸入所述箱体的内腔中；所述清水管路一端适于连接自来水管路，另一端穿过所述箱体的侧壁伸入所述箱体的内腔中；所述废排管路一端穿过所述箱体的侧壁伸入所述箱体的内腔中，另一端位于所述箱体外部。

进一步的，所述炉管转动机构包括：

底座，所述底座固定在所述箱体的底板上；

至少两个从动轮，所述至少两个从动轮设置在所述底座上，与所述底座转动连接；所述至少两个从动轮能够支撑所述炉管；

主动轮，所述主动轮连接在所述箱体的顶板上，与所述炉管相抵接；和

主动轮电机，所述主动轮电机的输出轴与所述主动轮相连接。

进一步的，所述炉管转动机构还包括：

升降气缸，所述升降气缸固定在所述箱体的顶板上；和

连杆，所述连杆的上端与所述升降气缸的伸缩杆相连接，下端与所述主动轮转动连接；所述主动轮电机固定在所述连杆上。

进一步的，所述内壁清洗机构还包括：

丝杠，所述丝杠的轴线与所述炉管的轴线方向一致，所述丝杠的一端与所述第一毛刷相连接；