[发明专利]薄膜节流器及液静压轴承模块

权利要求书

1.一种薄膜节流器，适于连接于泵及轴承，该轴承适于配置在滑轨上，该泵适于供应流体经该薄膜节流器流至该轴承与该滑轨之间，其特征在于，该薄膜节流器包括：

壳体，包括腔室、连通于该腔室的入口与出口、以及节流面，其中该泵适于连接于该入口，该轴承适于连接于该出口；以及

薄膜，位于该腔室，该节流面为该壳体在靠近该出口且朝向该薄膜的内表面，

其中该薄膜的无因次刚性为K_r*，且1.33≦K_r*≦2，

其中K_r*＝K_rL₀/(p_sA_r)，K_r为该薄膜的刚性，L₀为该泵未启动时该薄膜与该节流面之间的距离，又称薄膜组装间隙，p_s为该泵所供应的液体压力，A_r为该节流面的等效面积。

2.如权利要求1所述的薄膜节流器，其特征在于，该薄膜节流器的无因次刚性K_r*＝1.33。

3.如权利要求1所述的薄膜节流器，其特征在于，该薄膜节流器的设计节流比(designrestriction ratio)为λ，0.1≦λ≦0.5，其中λ＝R_ri/R₀，R_ri为该薄膜与该节流面之间的距离为L₀时，该流体流经该节流面的流阻，且R₀为该流体流经该轴承的预设流阻。

4.如权利要求3所述的薄膜节流器，其特征在于，该薄膜节流器的设计节流比λ＝0.25。

5.一种液静压轴承模组，适于可移动地配置在滑轨上且连接于泵，其特征在于，该液静压轴承模组包括：

轴承，适于可移动地配置在滑轨上；

薄膜节流器，整合于该轴承上，该泵适于供应流体经该薄膜节流器流至该轴承与该滑轨之间，该薄膜节流器包括：

壳体，包括腔室、连通于该腔室的入口与出口、以及节流面，其中该泵适于连接于该入口，该轴承连接于该出口；以及

薄膜，位于该腔室，该节流面为该壳体在靠近该出口且朝向该薄膜的内表面，

其中该薄膜节流器的无因次刚性为K_r*，K_r*＝K_rL₀/(p_sA_r)，且1.33≦K_r*≦2，

其中K_r为该薄膜的刚性，L₀为该泵未启动时该薄膜与该节流面之间的距离，又称薄膜组装间隙，p_s为该泵所供应的液体压力，A_r为该节流面的等效面积。

6.如权利要求5所述的液静压轴承模组，其特征在于，该薄膜节流器的无因次刚性K_r*＝1.33。

7.如权利要求5所述的液静压轴承模组，其特征在于，该薄膜节流器的设计节流比为λ，λ＝R_ri/R₀，0.1≦λ≦0.5，其中R_ri为该薄膜与该节流面之间的距离为L₀时，该流体流经该节流面的流阻，且R₀为该流体流经该轴承的预设流阻。

8.如权利要求7所述的液静压轴承模组，其特征在于，该薄膜节流器的设计节流比λ＝0.25。

9.如权利要求5所述的液静压轴承模组，其特征在于，该轴承包括滑块，可滑动地配合于该滑轨，该薄膜节流器可拆卸地配置于该滑块。

10.如权利要求9所述的液静压轴承模组，其特征在于，该薄膜节流器的该壳体包括可拆卸地配置于该滑块的板体及可拆卸地配置于该板体的盖体，该板体包括凹腔及连通于该凹腔的贯孔，该薄膜配置于该凹腔内，该流体适于经该贯孔流至该板体与该滑轨之间。