[发明专利]一种三幅随机移相干涉图的快速相位提取方法有效
申请号: | 201710587012.2 | 申请日: | 2017-07-18 |
公开(公告)号: | CN107490340B | 公开(公告)日: | 2019-08-09 |
发明(设计)人: | 姚勇;雷何兵;刘昊鹏;田一婷;吴昊堃;杨彦甫 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学深圳研究生院 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人: | 孙伟 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 椭圆参数 干涉图 移相干涉 快速相位 椭圆拟合 最小二乘 求解 采集 归一化处理 加减运算 快速提取 椭圆公式 直接计算 背景光 减运算 再利用 条纹 推导 两相 相减 相加 运算 | ||
1.一种三幅随机移相干涉图的快速相位提取方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、采集三幅随机干涉图;
S2、对采集到的随机干涉图进行两两相减运算;
S3、对随机干涉图再进行一次相加或者相减运算;
S4、将化简得到的椭圆公式进行归一化处理,进行超最小二乘椭圆拟合求解椭圆参数;
S5、求解出相位;
其中,
在步骤S2中,对三幅随机干涉图对进行相减操作可以得到:
其中:
在步骤S3中,再一次进行加减运算,可以得到两个正交分量,
其中A±,B±可以表示为:
2.根据权利要求1所述的三幅随机移相干涉图的快速相位提取方法,其特征在于:在步骤S1中,三幅随机移相干涉图的光强分布表示为:
I0=a0(x,y)+b0(x,y)cos(φ(x,y)+δ0)
I1=a1(x,y)+b1(x,y)cos(φ(x,y)+δ1)
I2=a2(x,y)+b2(x,y)cos(φ(x,y)+δ2)
其中,am(x,y)代表背景光强,bm(x,y)代表调制幅度,φm(x,y)代表物体相位,δm代表第m幅干涉图的移相值。
3.根据权利要求1所述的三幅随机移相干涉图的快速相位提取方法,其特征在于:在步骤S4中,
1)椭圆归一化
椭圆的一般公式表示为:
a·x2+2b·xy+c·y2+2βa(d·x+e·y)+β2·f=0
其中a,b,c,d,e,f为椭圆系数,β代表一个实常数,椭圆归一化后的Isum,Isub表示为:
其中
2)超最小二乘椭圆拟合
在普通的椭圆拟合中,为了避免奇异解通常设置为||α||2=1为约束条件,其中α=[a,b,c,d,e,f]T,在超最小二乘椭圆拟合中,约束条件设置为其中引入了一个权值;
加权矩阵W近似为:
其中
超最小二乘的主要任务是估计估计值表示为:
其中χ=[x2,2xy,y2,2βx,2βy,β2]T,求解下列公式的最小特征值得到,
Wα=λXα。
4.根据权利要求3所述的三幅随机移相干涉图的快速相位提取方法,其特征在于:在步骤S5中,
估计出最优椭圆参数α之后,提取出包裹相位,求解公式如下:
最后再通过解包裹算法恢复出连续真实相位。
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