[发明专利]一种三幅随机移相干涉图的快速相位提取方法有效

专利信息
申请号: 201710587012.2 申请日: 2017-07-18
公开(公告)号: CN107490340B 公开(公告)日: 2019-08-09
发明(设计)人: 姚勇;雷何兵;刘昊鹏;田一婷;吴昊堃;杨彦甫 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
主分类号: G01B11/00 分类号: G01B11/00
代理公司: 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 代理人: 孙伟
地址: 518000 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 椭圆参数 干涉图 移相干涉 快速相位 椭圆拟合 最小二乘 求解 采集 归一化处理 加减运算 快速提取 椭圆公式 直接计算 背景光 减运算 再利用 条纹 推导 两相 相减 相加 运算
【权利要求书】:

1.一种三幅随机移相干涉图的快速相位提取方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1、采集三幅随机干涉图;

S2、对采集到的随机干涉图进行两两相减运算;

S3、对随机干涉图再进行一次相加或者相减运算;

S4、将化简得到的椭圆公式进行归一化处理,进行超最小二乘椭圆拟合求解椭圆参数;

S5、求解出相位;

其中,

在步骤S2中,对三幅随机干涉图对进行相减操作可以得到:

其中:

在步骤S3中,再一次进行加减运算,可以得到两个正交分量,

其中A±,B±可以表示为:

2.根据权利要求1所述的三幅随机移相干涉图的快速相位提取方法,其特征在于:在步骤S1中,三幅随机移相干涉图的光强分布表示为:

I0=a0(x,y)+b0(x,y)cos(φ(x,y)+δ0)

I1=a1(x,y)+b1(x,y)cos(φ(x,y)+δ1)

I2=a2(x,y)+b2(x,y)cos(φ(x,y)+δ2)

其中,am(x,y)代表背景光强,bm(x,y)代表调制幅度,φm(x,y)代表物体相位,δm代表第m幅干涉图的移相值。

3.根据权利要求1所述的三幅随机移相干涉图的快速相位提取方法,其特征在于:在步骤S4中,

1)椭圆归一化

椭圆的一般公式表示为:

a·x2+2b·xy+c·y2+2βa(d·x+e·y)+β2·f=0

其中a,b,c,d,e,f为椭圆系数,β代表一个实常数,椭圆归一化后的Isum,Isub表示为:

其中

2)超最小二乘椭圆拟合

在普通的椭圆拟合中,为了避免奇异解通常设置为||α||2=1为约束条件,其中α=[a,b,c,d,e,f]T,在超最小二乘椭圆拟合中,约束条件设置为其中引入了一个权值;

加权矩阵W近似为:

其中

超最小二乘的主要任务是估计估计值表示为:

其中χ=[x2,2xy,y2,2βx,2βy,β2]T,求解下列公式的最小特征值得到,

Wα=λXα。

4.根据权利要求3所述的三幅随机移相干涉图的快速相位提取方法,其特征在于:在步骤S5中,

估计出最优椭圆参数α之后,提取出包裹相位,求解公式如下:

最后再通过解包裹算法恢复出连续真实相位。

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