[发明专利]溅射靶材回收方法在审
| 申请号： | 201710580344.8 | 申请日： | 2017-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN109266854A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 吴景晖;姚力军;徐超 | 申请（专利权）人： | 宁波创润新材料有限公司 |
| 主分类号： | C22B7/00 | 分类号： | C22B7/00;C22B34/12;C22B34/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315460 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶材 背板 化学反应 靶材组件 溅射靶材 背板连接 机械分离 回收 高纯度 | ||
1.一种溅射靶材回收方法，其特征在于，包括：
提供靶材组件，所述靶材组件包括背板和与所述背板连接的靶材；
采用化学反应分离方法分离所述背板和靶材。
2.如权利要求1所述的溅射靶材回收方法，其特征在于：所述化学反应分离方法包括：提供碱溶液，将所述靶材组件浸泡至所述碱溶液中，待所述背板溶解后取出所述靶材。
3.如权利要求2所述的溅射靶材回收方法，其特征在于，所述碱溶液为氢氧化钠溶液、氢氧化钾溶液、氢氧化钡溶液或氢氧化铯溶液。
4.如权利要求2所述的溅射靶材回收方法，其特征在于，所述碱溶液的浓度为5％～30％。
5.如权利要求2所述的溅射靶材回收方法，其特征在于，还包括：提供酸溶液，取出所述靶材后，用纯水冲洗所述靶材，然后将所述靶材用所述酸溶液浸泡。
6.如权利要求5所述的溅射靶材回收方法，其特征在于，所述酸溶液为盐酸、硫酸、硝酸、氢溴酸或氢碘酸。
7.如权利要求5所述的溅射靶材回收方法，其特征在于，所述酸溶液的浓度为5％～20％。
8.如权利要求5所述的溅射靶材回收方法，其特征在于，还包括：提供强氧化剂，在所述酸溶液中加入所述强氧化剂。
9.如权利要求8所述的溅射靶材回收方法，其特征在于，所述强氧化剂为过氧化氢。
10.如权利要求1至9任一所述的溅射靶材回收方法，其特征在于，所述靶材为钛靶或钽靶。
11.如权利要求1至9任一所述的溅射靶材回收方法，其特征在于，所述背板为两性金属。
12.如权利要求11所述的溅射靶材回收方法，其特征在于，所述背板为铝背板、镓背板、锌背板、锗背板、铟背板、锡背板或铅背板。
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