[发明专利]电弧抑制装置与电弧抑制方法

说明书

一种电弧抑制装置包含交流/直流转换器、开关、电阻器与控制器。开关耦接于交流/直流转换器与电浆室之间。电阻器并联耦接开关。控制器耦接开关。交流/直流转换器用以将交流电压转换为直流电压以提供至电浆室。控制器用以检测电浆室接收的电浆电流的斜率。当控制器判断电浆电流的斜率大于第一斜率门槛值时，控制器控制开关电性隔离交流/直流转换器与电浆室以通过电阻器将电浆电流降低至第一电流值。

技术领域

本发明是有关于电弧抑制技术，且特别是有关于一种连续输出能量的电弧抑制装置与电弧抑制方法。

背景技术

于电浆工艺中，当电浆室内发生电弧时，容易导致工艺的良率不佳。然而，为了消除电浆室内的电弧而断开输出至电浆室的电源，将会产生能量不连续的问题。此外，若通过多个开关元件控制电源的输出，则操作方式变得较为复杂。

发明内容

本揭示内容的一态样是提供一种电弧抑制装置，其包含交流/直流转换器、开关、电阻器与控制器。开关耦接于交流/直流转换器与电浆室之间。电阻器并联耦接开关。控制器耦接开关。交流/直流转换器用以将交流电压转换为直流电压以提供至电浆室。控制器用以检测电浆室接收的电浆电流的斜率。当控制器判断电浆电流的斜率大于第一斜率门槛值时，控制器控制开关电性隔离交流/直流转换器与电浆室以通过电阻器将电浆电流降低至第一电流值。

本揭示内容的另一态样是提供一种电弧抑制方法，其包含以下步骤。通过控制器，当判断电浆室接收的电浆电流的斜率大于第一斜率门槛值时，控制开关电性隔离交流/直流转换器与电浆室以通过电阻器将电浆电流降低至第一电流值。开关电性耦接于交流/直流转换器与电浆室之间，电阻器并联耦接开关。

综上所述，当电弧发生时，电弧抑制装置可通过电阻器降低输出至电浆室的电浆电流至第一电流值以消除电弧。此外，由于电弧抑制装置并未中断输出至电浆室(亦即并未将电浆电流降至零)，因此当电弧消除后电弧抑制装置可快速地恢复电浆室正常操作。

以下将以实施方式对上述的说明作详细的描述，并对本揭示内容的技术方案提供更进一步的解释。

附图说明

为让本揭示内容的上述和其他目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，所附图示的说明如下：

图1为根据本揭示内容一实施例绘示的电弧抑制装置的示意图；

图2为根据本发明一实施例绘示的电弧抑制方法流程图；

图3A为根据本揭示内容一实施例绘示的电弧抑制装置的操作示意图；

图3B为根据本揭示内容一实施例绘示的电弧抑制装置的操作示意图；

图4A为绘示本揭示内容一实施例中对应第3A、3B图的电弧抑制装置的波形示意图；

图4B为绘示本揭示内容一实施例中对应第3A、3B图的电弧抑制装置的波形示意图；以及

图4C为绘示本揭示内容一实施例中对应图3A、3B的电弧抑制装置的波形示意图。

其中附图标记为：

100：电弧抑制装置

110：交流/直流转换器

111、L1_1、C1_1、L2_1、C2_1、SW_1、R_1：第一端

112、L1_2、C1_2、L2_2、C2_2、SW_2、R_2：第二端

120：控制器

130、140：电感电容电路

150：电浆室

151：外壳

152：靶材

L1、L2：电感器