[发明专利]基于视觉定位的高效率石英晶片角度分选方法

权利要求书

1.基于视觉定位的高效率石英晶片角度分选方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）将待测石英晶片放置到旋转台上，保证其水平度；

（2）拍摄待测石英晶片的图像，通过对所述图像进行处理，得到所述石英晶片的中心在平面坐标系中的位置（x,y)与所述石英晶片的长边倾斜角度θ1；

（3）所述石英晶片的长边倾斜角预设为θ2，利用θ1计算出所述旋转台需要转动的角度ω, ω=θ2-θ1；

转动所述旋转台时，在[0，ω-δ）区间内以角速度α1转动，在[ω-δ，ω+δ]区间内以角速度α2转动，α1＞α2；同时，启动X光计数器进行X光强度测量；测量结束后，所述旋转台以α1角速度通过（ω+δ，2π]区间；其中，2δ是以角速度α2进行慢速精细扫描的角度范围，δ的单位为rad；

（4）通过所述X光计数器测得的X光强度峰值数据对应的旋转台旋转角度ψ计算所述石英晶片的晶格角度ε并输出。

2.如权利要求1所述的基于视觉定位的高效率石英晶片角度分选方法，其特征在于，步骤（3）中所述2δ的取值范围为[1,5]。

3.如权利要求2所述的基于视觉定位的高效率石英晶片角度分选方法，其特征在于，步骤（3）中所述α1的取值范围为2πrad/s-3πrad/s，所述α2的取值范围为0.5πrad/s-πrad/s。

4.如权利要求1所述的基于视觉定位的高效率石英晶片角度分选方法，其特征在于，所述步骤（2）中，对所述图像依次进行预处理、边缘提取和直线拟合后分别得到所述石英晶片外轮廓四条边所在直线的方程，通过所述方程求取四条直线的交点，得到所述石英晶片的四个顶点，通过四个顶点求得所述石英晶片的重心得到所述(x,y)，通过所述石英晶片外轮廓长边所在直线的方程得到所述长边倾斜角度θ1。

5.如权利要求1所述的基于视觉定位的高效率石英晶片角度分选方法，其特征在于，步骤（4）中所述晶格角度ε通过下式计算：

；

其中，为已知的布拉格角，α为已知的入射角。