[发明专利]一种褐色电致变色电荷存储电极及制备方法

权利要求书

1.一种无机褐色电致变色电荷存储电极，其特征在于：

电极的组成包括：透明基底层(101)、透明导电层(102)和电致变色电荷存储层(103)三部分，自上而下依次为电致变色电荷存储层、透明导电层、透明基底层，电致变色电荷存储层由LiFe(WO₄)₂组成；电极所用透明导电层材料为氧化铟锡、氟掺杂的氧化锡、氧化锡、氧化锌、Al掺杂的ZnO、Ga掺杂的ZnO中的一种或几种薄膜复合；电极所用透明基底层材料为无机玻璃、聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯、或聚碳酸酯透明基材。

2.一种制备权利要求1所述的无机褐色电致变色电荷存储电极的方法，其特征是，

(1)透明基底预处理

分别利用丙酮、乙醇和纯净水依次对透明基底层进行超声清洗，氮气吹扫后置于烘箱内干燥处理，去除其表面的油污和杂质；

(2)真空物理气相沉积制备透明导电层

利用磁控溅射方式或电子束蒸发方式制备透明导电层，透明导电层的方电阻为5-30Ω/□；

(3)真空物理气相沉积电致变色电荷存储层以及后续热处理结晶

利用磁控溅射方式或电子束蒸发方式制备电荷存储层，所采用的沉积气氛为氩气或氩氧混合气，设定腔室沉积气压范围1×10^-2～5Pa，制备具有厚度的电荷存储层，电荷存储层的厚度范围50～700nm，在沉积结束后进行热处理结晶，热处理温度范围220～300℃，热处理时间为60～180分钟，热处理气氛为氩氧混合气或干燥空气。

3.根据权利要求2所述的无机褐色电致变色电荷存储电极的方法，其特征是，所述沉积气氛为氩气或氩氧混合气，沉积气压范围1×10^-1～2Pa。

4.根据权利要求2所述的无机褐色电致变色电荷存储电极的方法，其特征是，所述电荷存储层的厚度范围100～600nm。

5.根据权利要求2所述的无机褐色电致变色电荷存储电极的方法，其特征是，所述沉积结束后进行热处理结晶，热处理温度范围250～450℃，热处理时间为20～100分钟，热处理气氛为氩氧混合气或干燥空气。