[发明专利]微机电装置

权利要求书

1.一种微机电装置，其特征在于，包含：

至少两质量结构；以及

至少一弹性连接体，连接于该至少两质量结构之间，各该弹性连接体包含：

至少两个折绕型弹性部，互相直接连接于一连接点；以及

至少两个连接部，其中，该些折绕型弹性部分别通过对应的连接部而连接于该至少两质量结构，以使该至少两质量结构可在第一方向上进行反向的位移运动。

2.如权利要求1所述的微机电装置，其中，每一弹性连接体仅通过单一锚点而连接至一基板。

3.如权利要求2所述的微机电装置，其中，该单一锚点经由一伸缩弹簧而连接至对应该弹性连接体的连接点，以引导该连接点产生一第二方向位移运动，该第二方向垂直于该第一方向，其中该连接点与该伸缩弹簧直接或间接连接。

4.如权利要求3所述的微机电装置，其中，该连接点与该伸缩弹簧经由一第一内部质量结构间接连接。

5.如权利要求3所述的微机电装置，其中，该连接点与一第一内部质量结构连接。

6.如权利要求1所述的微机电装置，其中，该至少两质量结构间通过至少两弹性连接体以彼此连接，且该至少两弹性连接体的布局为镜像对称。

7.如权利要求6所述的微机电装置，其中，还包含至少一第一内部质量结构，连接于该些弹性连接体的连接点之间，该些弹性连接体提供该至少一第一内部质量结构的该第二方向位移运动、或提供该至少一第一内部质量结构产生旋转运动。

8.如权利要求7所述的微机电装置，其中，该些弹性连接体的该些连接点，在该第一方向上相隔一段距离，以提供该至少一第一内部质量结构的该旋转运动。

9.如权利要求6所述的微机电装置，其中，还包含至少两个第一内部质量结构，各该第一内部质量结构的一侧通过连接一伸缩弹簧而彼此相连，且各该第一内部质量结构的另一侧分别连接各对应的该连接点，由此，两个该弹性连接体提供该些第一内部质量结构在第二方向上的反向的位移运动，该第二方向垂直于该第一方向。

10.如权利要求1所述的微机电装置，其中，还包含至少两个第一内部质量结构，其中该伸缩弹簧连接于该些连接点之间，且各该第一内部质量结构的一侧通过连接该伸缩弹簧而彼此相连，并经由该伸缩弹簧而连接至各对应的该连接点，各该第一内部质量结构的另一侧分别连接于各对应的一锚点，由此，该些弹性连接体提供该些第一内部质量结构反向的两个该旋转运动。

11.如权利要求10所述的微机电装置，其中，该至少两个第一内部质量结构为镜像对称设置于该伸缩弹簧两侧，或设置于该伸缩弹簧同一侧。

12.如权利要求1所述的微机电装置，其中，该微机电装置包含两个该弹性连接体，该微机电装置还包含至少一第二内部质量结构，连接于该些连接部，该些弹性连接体提供该至少一第二内部质量结构产生旋转运动。

13.如权利要求12所述的微机电装置，其中，该微机电装置包含两个该第二内部质量结构，各该第二内部质量结构的一侧分别连接于对应的该连接部，各该第二内部质量结构的另一侧分别连接于一锚点，两个该弹性连接体提供该些第二内部质量结构产生反向的两个该旋转运动。

14.如权利要求12所述的微机电装置，其中，该微机电装置包含两个该第二内部质量结构，各该第二内部质量结构的一侧分别连接于对应的该连接部，各该第二内部质量结构的另一侧连接于一共同锚点，两个该弹性连接体提供该些第二内部质量结构产生反向的两个该旋转运动。