[发明专利]一种光刻机用快门叶片装置在审
| 申请号： | 201710543036.8 | 申请日： | 2017-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN109212910A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 王彦飞;刘国淦;章富平;贾翔 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 快门叶片 隔热板 快门系统 热传导 光刻机曝光系统 连接使用 光刻机 快门 叶片 烧毁 阻碍 | ||
1.一种快门叶片装置，用于光刻机曝光系统，其特征在于，包括两个快门叶片、两个隔热板，每个快门叶片连接一个隔热板。
2.如权利要求1所述的快门叶片装置，其特征在于，所述两个快门叶片在入射光光轴方向上有间隙。
3.如权利要求1或2所述的快门叶片装置，其特征在于，所述两个快门叶片闭合时，所述两个快门叶片在垂直于入射光光轴方向上部分重合。
4.如权利要求1或2所述的快门叶片装置，其特征在于，所述快门叶片为铝合金材质。
5.如权利要求1或2所述的快门叶片装置，其特征在于，所述快门叶片厚度为0.5mm-3mm。
6.如权利要求1所述的快门叶片装置，其特征在于，所述快门叶片具有一接受入射光照射的受光面，所述受光面为光滑镜面。
7.如权利要求6所述的快门叶片装置，其特征在于，所述受光面的表面粗糙度Ra小于等于0.01μm。
8.如权利要求6所述的快门叶片装置，其特征在于，所述受光面的制作采用金刚石切削加工。
9.如权利要求1所述的快门叶片装置，其特征在于，所述快门叶片具有一接受入射光照射的受光面，所述快门叶片还具有一与所述受光面相对的背光面，所述背光面做减薄处理。
10.如权利要求1所述的快门叶片装置，其特征在于，所述快门叶片具有一接受入射光照射的受光面，所述快门叶片还具有一与所述受光面相对的背光面，所述背光面设置有凹槽和加强筋。
11.如权利要求9或10所述的快门叶片装置，其特征在于，所述背光面对应入射光照射区域处不进行减薄处理，或进行的减薄处理程度小于其他区域。
12.如权利要求1所述的快门叶片装置，其特征在于，所述隔热板通过螺钉固定连接在所述快门叶片的端部。
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