[发明专利]一种真空温控光路净化装置

权利要求书

1.一种真空温控光路净化装置，其特征在于，其包括：第一光路隔温环(1)，温控环(2)，真空净化环(3)和第二光路隔温环(4)；所述第一光路隔温环(1)的一端与所述温控环(2)的一端无缝对接，所述温控环(2)的另一端与所述真空净化环(3)的一端无缝对接，所述真空净化环(3)的另一端与所述第二光路隔温环(4)的一端无缝对接，所述第二光路隔温环(4)的另一端与后续光学元件对接。

2.根据权利要求1所述的一种真空温控光路净化装置，其特征在于，所述温控环(2)包括：加热丝和精密温度传感器(6)；所述温控环(2)的内部开有加热槽(7)，且所述加热槽(7)呈螺旋型嵌套于所述温控环(2)内，所述加热丝置于所述加热槽(7)内，所述精密温度传感器(6)安装在所述温控环(2)的内壁上，且与所述加热槽(7)相连接。

3.根据权利要求1所述的一种真空温控光路净化装置，其特征在于，所述第一光路隔温环(1)与所述温控环(2)的对接处加装垫圈，并通过丝扣进行连接，且第一光路隔温环(1)的长度不超过3mm。

4.根据权利要求1所述的一种真空温控光路净化装置，其特征在于，所述温控环(2)与所述真空净化环(3)的对接处加装垫圈，并通过丝扣进行连接，且温控环(2)的长度不超过3mm。

5.根据权利要求1所述的一种真空温控光路净化装置，其特征在于，所述真空净化环(3)与所述第二光路隔温环(4)的对接处加装垫圈，并通过丝扣进行连接，且真空净化环(3)的长度不超过3mm。

6.根据权利要求1所述的一种真空温控光路净化装置，其特征在于，所述真空净化环(3)上开有真空接口(5)，将小功率真空泵(8)通过连接软管(9)与所述真空接口(5)对接，且所述小功率真空泵(8)的真空技术参数不小于6×10^-2Pa。

7.根据权利要求1所述的一种真空温控光路净化装置，其特征在于，所述第一光路隔温环(1)和所述第二光路隔温环(4)采用工程塑料制成，用于隔热。

8.根据权利要求1所述的一种真空温控光路净化装置，其特征在于，所述温控环(2)和所述真空净化环(3)采用硬铝合金制成。

9.根据权利要求1所述的一种真空温控光路净化装置，其特征在于，所述温控环(2)的温度低于分子池控制的温度，且所述温控环(2)的精度不低于1％。