[发明专利]多次扫描光学系统

权利要求书

1.一种多次扫描光学系统，包括：

激发源，被配置为发射复合光；

hydra光缆，设置在所述激发源的下游，所述hydra光缆具有头部和多个触手，所述多个触手分别配置在所述hydra光缆的多个端部上，其中：

·所述头部被配置为经由第二透镜收集所述激发源发射的复合光；且

·所述多个触手被配置为将所述头部收集的复合光分束，并且还被配置成传输多束复合光；

波长选择器，具有多条光学狭缝(s1-s8)，所述波长选择器被配置为选择性地收集并过滤由第一透镜引导的复合光和由所述多个触手传输的多束复合光，其还被配置为引导多次谱线扫描，该多次谱线扫描具有不同波长且与所述多条光学狭缝(s1-s8)中的每一条相对应；和

检测器，被配置为检测由光学元件反射的所述多次谱线扫描，以进行光谱分析。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述波长选择器包括多个快门，所述多个快门被配置为顺序地选择至少一条光学狭缝(s1-s8)。

3.根据权利要求2所述的系统，其中，所述多个快门被气动或电动地操作。

4.根据权利要求1所述的系统，其中，所述第一透镜和所述第二透镜被配置为将从所述激发源接收的复合光分别引向所述多条狭缝(s1-s8)中的第一狭缝(s1)、以及所述hydra光缆。

5.根据权利要求1所述的系统，其中，所述激发源选自于由电感耦合等离子体、直流等离子体和微波感应等离子体构成的组。

6.根据权利要求1所述的系统，其中，所述光学元件是全息凹面衍射反射光栅。

7.根据权利要求1所述的系统，其中，所述第一透镜和所述第二透镜分别是火花光收集透镜。

8.根据权利要求1所述的系统，其中，所述多次谱线扫描中的每一次谱线扫描与相应的入射角相关联。

9.根据权利要求1所述的系统，其中，所述检测器是电荷耦合器件。

10.根据权利要求1所述的系统，其中，所述多次谱线扫描的波长在170nm至380nm的范围内。