[发明专利]工业机械

说明书

本发明提供一种工业机械。该工业机械简单且高精度地计算由工件的载荷引起的引导部的变形量。该三维测量装置(1)包括：立柱(22)，其相对于载置工件的载置面(11)能够相对移动；引导部(12)，其设于载置面(11)上，引导立柱(22)；直线编码器(50)的标尺(52)，其被支承在引导部(12)的侧面(12a)；以及检测器(56、57)，其设于立柱(22)，检测与标尺(52)之间的相对位移，其中，检测器(56、57)分别检测立柱(22)的移动方向以及铅垂方向上的位移，该工业机械还包括变形量计算部(943)，该变形量计算部(943)根据检测器(56、57)的检测结果，获取引导部(12)相对于标尺(52)的相对的变形量。

技术领域

本发明涉及一种工业机械。

背景技术

作为工业机械，例如应用有在正交的三轴方向上移动来测量工件(被测量物)的坐标等的三维测量装置。在三维测量装置中，在基座的载置面上载置有工件的状态下，一边使支承有探针的移动体沿着基座的引导部移动，一边利用探针测量工件。

发明内容

发明要解决的问题

然而，在载置面上载置有工件时，存在基座变形的情况。例如，存在因工件的载荷而使基座的引导部以挠曲的方式变形的情况。该情况下，由于移动体在挠曲了的状态下的引导部上移动，因此，导致由支承于移动体的探针对工件进行测量的测量结果产生误差。为了校正这样的误差，要求恰当地计算引导部的变形量。

于是，本发明即是鉴于这样的问题而做成的，其目的在于简单且高精度地计算由工件的载荷引起的引导部的变形量。

用于解决问题的方案

根据本发明的一实施方式，提供一种工业机械，该工业机械包括：移动体，其相对于载置工件的载置面能够相对移动；引导部，其设于所述载置面上，引导所述移动体；直线编码器的标尺，其被支承在所述引导部的侧面；以及检测器，其设于所述移动体，检测与所述标尺之间的相对位移，其中，所述检测器分别检测所述移动体的移动方向以及铅垂方向上的位移，该工业机械还包括变形量获取部，该变形量获取部根据所述检测器的检测结果，获取所述引导部相对于所述标尺的相对的变形量。

另外，也可以是，所述检测器沿所述移动方向设有多个，所述变形量获取部比较多个所述检测器各自检测到的检测结果，计算所述引导部的变形量。

另外，也可以是，在所述标尺上设有沿着所述铅垂方向以预定间隔形成的多个第1刻度，所述变形量获取部比较多个所述检测器各自检测到的所述第1刻度的值，计算所述引导部的变形量。

另外，也可以是，在所述标尺上形成有沿着所述移动方向以预定间隔形成的多个第2刻度，该多个第2刻度用于确定所述移动体的所述移动方向上的位置。

另外，也可以是，所述检测器为检测与所述标尺之间的距离的距离检测传感器，所述变形量获取部比较多个所述距离检测传感器各自检测到的距离，计算所述引导部的变形量。

另外，也可以是，在所述引导部的所述侧面设有多个支承部，该多个支承部在所述移动方向上点支承所述标尺。

另外，也可以是，所述标尺固定于以能够以与所述移动方向平行的状态沿铅垂方向位移的方式被所述引导部支承的壳体。

另外，也可以是，该工业机械还包括校正部，该校正部根据所述变形量获取部计算出的所述引导部的变形量，计算校正用的所述引导部的直线度误差或角度误差。

发明的效果

采用本发明，起到能够简单且高精度地计算由工件的载荷引起的引导部的变形量的效果。

附图说明