[发明专利]工业机械

权利要求书

1.一种工业机械，该工业机械包括：

移动体，其相对于载置工件的载置面能够相对移动；

引导部，其设于所述载置面上，引导所述移动体；

直线编码器的标尺，其被支承在所述引导部的侧面；以及

检测器，其设于所述移动体，检测与所述标尺之间的相对位移，其中，

所述检测器分别检测所述移动体的移动方向以及铅垂方向上的位移，

该工业机械还包括变形量获取部，该变形量获取部根据所述检测器的检测结果，获取所述引导部相对于所述标尺的相对的变形量，

在所述引导部的所述侧面设有多个支承部，该多个支承部在所述移动方向上点支承所述标尺，

所述多个支承部是对所述标尺的底面进行点支承的轴状的销。

2.根据权利要求1所述的工业机械，其中，

所述检测器沿所述移动方向设有多个，

所述变形量获取部比较多个所述检测器各自检测到的检测结果，计算所述引导部的变形量。

3.根据权利要求2所述的工业机械，其中，

在所述标尺上设有沿着所述铅垂方向以预定间隔形成的多个第1刻度，

所述变形量获取部比较多个所述检测器各自检测到的所述第1刻度的值，计算所述引导部的变形量。

4.根据权利要求3所述的工业机械，其中，

在所述标尺上形成有沿着所述移动方向以预定间隔形成的多个第2刻度，该第2刻度用于确定所述移动体的所述移动方向上的位置。

5.根据权利要求4所述的工业机械，其中，

多个所述检测器各自包含检测所述第1刻度的第1检测部和检测所述第2刻度的第2检测部。

6.根据权利要求2所述的工业机械，其中，

所述检测器为检测与所述标尺之间的距离的距离检测传感器，

所述变形量获取部比较多个所述距离检测传感器各自检测到的距离，计算所述引导部的变形量。

7.根据权利要求1所述的工业机械，其中，

所述多个支承部包含以约束状态支承所述标尺的长度方向上的一端侧的约束支承部和以非约束状态支承所述标尺的长度方向上的另一端侧的非约束支承部。

8.根据权利要求1所述的工业机械，其中，

所述标尺固定于以能够以与所述移动方向平行的状态沿铅垂方向位移的方式被所述引导部支承的壳体。

9.根据权利要求1所述的工业机械，其中，

该工业机械还包括校正部，该校正部根据所述变形量获取部计算出的所述引导部的变形量，计算校正用的所述引导部的直线度误差或角度误差。