[发明专利]一种光束干涉角调整装置及干涉角的调整方法

权利要求书

1.一种光束干涉角调整装置，包括激光器(1)、分束镜(2)、第一反射镜(3)和第二反射镜(4)，激光器(1)发出紫外光，分束镜(2)将激光器(1)发出的紫外光分为第一光束和第二光束，其特征在于：还包括第一透光板(5)、第二透光板(6)和角度规(7)；第一反射镜(3)反射第一光束穿过第一透光板(5)，第二反射镜(4)反射第二光束穿过第二透光板(6)，第一光束和第二光束最终汇聚于一点；第一反射镜(3)、第二反射镜(4)、第一透光板(5)和第二透光板(6)的位置可调；角度规(7)包括角度规反射镜(71)、精密电动转台(72)和调整架(73)，角度规反射镜(71)反射第一光束至第一透光板(5)上，角度规反射镜(71)反射第二光束至第二透光板(6)上，精密电动转台(72)固定连接在角度规反射镜(71)的下方并调整角度规反射镜(71)在水平面上的角度，调整架(73)连接在精密电动转台(72)的下方并调整精密电动转台(72)和角度规反射镜(71)二者整体的空间位置。

2.根据权利要求1所述的光束干涉角调整装置，其特征在于：所述第一透光板(5)和第二透光板(6)分别通过一调节底座分别调节高度以及在水平面的转动的角度和位置。

3.根据权利要求2所述的光束干涉角调整装置，其特征在于：所述调节底座包括底座本体(51)、第一连接杆(52)和第二连接杆(53)，底座本体(51)水平设置，第一连接杆(52)竖直设置且下端固定在底座本体(51)上，第二连接杆(53)竖直设置且下端转动套设在第一连接杆(52)的上部内，第二连接杆(53)的上端固定连接在第一透光板(5)或者第二透光板(6)的下端，第一连接杆(52)上设置有固定卡件(54)，固定卡件(54)穿过第一连接杆(52)与第二连接杆(53)卡接。

4.根据权利要求1所述的光束干涉角调整装置，其特征在于：所述调整架(73)调整精密电动转台(72)和角度规反射镜(71)二者整体在水平横向位置的X轴、水平纵向位置的Y轴、高度的Z轴、水平面上作圆周运动的R轴和竖直平面上作圆周运动的U轴上的空间位置。

5.根据权利要求1所述的光束干涉角调整装置，其特征在于：所述第一透光板(5)和第二透光板(6)上均设置有若干间距相同的横向刻度线和纵向刻度线。

6.使用权利要求1所述的光束干涉角调整装置调整光束干涉角的方法，包括以下步骤：

激光器(1)发出紫外光，分束镜(2)将紫外光分为第一光束和第二光束，第一反射镜(3)和第二反射镜(4)分别反射第一光束和第二光束汇聚于一点O点，第一光束和第二光束之间的夹角为干涉角，角度为θ；

通过理论计算出需要调整的干涉角的角度θ，确定精密电动转台(72)需要转动的角度为180°-θ；

标记第一光束通过第一透光板(5)的光点为1a，角度规反射镜(71)反射第一光束返回通过第一透光板(5)的光点为1b，调整角度规(7)的调整架(73)使两个光点1a和1b重合；

固定角度规(7)的调整架(73)，控制精密电动转台(72)旋转180°-θ，精密电动转台(72)带动角度规反射镜(71)转动180°-θ，调整第二反射镜(4)使得第二光束同时通过第二透光板(6)和角度规反射镜(71)；

标记第二光束通过第二透光板(6)的光点为2a，角度规反射镜(71)反射第二光束返回通过第二透光板(6)的光点为2b，调整第二反射镜(4)使两个光点2a和2b重合，此时第一光束和第二光束的夹角即为理论计算的干涉角θ。