[发明专利]一种TFT‑LCD显示用显影液在审
申请号: | 201710436615.2 | 申请日: | 2017-06-12 |
公开(公告)号: | CN107121898A | 公开(公告)日: | 2017-09-01 |
发明(设计)人: | 白航空 | 申请(专利权)人: | 合肥市惠科精密模具有限公司 |
主分类号: | G03F7/32 | 分类号: | G03F7/32 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 230000 安徽省合肥市新站区九*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 tft lcd 显示 显影液 | ||
1.一种TFT-LCD显示用显影液,其特征在于,所述显影液由以下重量份数的组分构成:碱性化合物22-26份、非离子表面活性剂7-14份、渗透剂9-15份和去离子水42-54份。
2.根据权利要求1所述的一种TFT-LCD显示用显影液,其特征在于:所述碱性化合物为无机碱性化合物或有机碱性化合物;其中,无机碱性化合物为:碱金属的氢氧化物、碳酸氢盐、碳酸盐中的一种或几种;有机碱性化合物为:单甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、单乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、氢氧化四甲基铵、氢氧化四乙基铵、单乙醇二甲基胺中的一种或几种。
3.根据权利要求1所述的一种TFT-LCD显示用显影液,其特征在于:所述非离子表面活性剂选自椰子油脂肪酸单乙醇酰胺、椰子油脂肪酸二乙醇酰胺、蓖麻油聚氧乙烯醚和蓖麻油聚氧乙烯醚中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的一种TFT-LCD显示用显影液,其特征在于:所述渗透剂为聚氧乙烯醚类渗透剂中的聚氧乙烷和高级脂肪醇的缩合物或磷酸酯。
5.根据权利要求1所述的一种TFT-LCD显示用显影液,其特征在于:所述去离子水是经过离子交换树脂过滤的水,其电阻至少是18MΩ。
6.根据权利要求1所述的一种TFT-LCD显示用显影液,其特征在于:所述所述去离子水中,总金属离子浓度不大于4000纳克/L,优选不大于500纳克/L,更优选不大于50纳克/L。
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