[发明专利]滚动轴承、机械元件及固体膜形成方法

说明书

本发明提供一种滚动轴承、机械元件及固体膜形成方法，该方法是在滚动轴承的轴承结构元件上形成固体膜的方法。使包含氟化物和不具有官能团的润滑剂的溶液作为液状膜附着于轴承结构元件，所述氟化物将甲基丙烯酸3‑(三甲氧基甲硅烷基)丙基酯、六氟丙烯及甲基丙烯酸甲酯作为成分。通过使附着的所述液状膜固化，而在轴承结构元件上形成固体膜。

在2016年6月10日提出的日本专利申请2016-116115的公开，包括其说明书、附图及摘要作为参照而全部包含于此。

技术领域

本发明涉及滚动轴承、机械元件及固体膜形成方法。

背景技术

在无法使用润滑脂、润滑油的真空环境、腐蚀环境中使用滚动轴承的情况下，对内圈、外圈等轴承结构元件实施将固体润滑剂设为膜状的涂层。该涂层中，以往，例如使用金、银、铅等软质金属或石墨、二硫化钼等层状结构物质。

在将使用了固体润滑剂的涂层形成于滚动轴承的情况下，在轴承旋转时，通过微量的固体润滑剂剥落而有助于润滑。在该情况下，来自滚动轴承的扬尘量与使用润滑脂、润滑油的情况相比变少，但在需要较高的清洁度的环境中，其应用仍存在困难。因此，提出在轴承结构元件上形成有含氟聚氨酯高分子化合物的固体膜的滚动轴承(例如，参照日本特开平9-137830号公报)。

根据上述日本特开平9-137830号公报中记载的技术，在无法使用润滑脂、润滑油的真空环境、腐蚀环境及清洁环境中能够作为合适的滚动轴承。

发明内容

本发明的目的之一在于，提供能够降低扬尘和提高润滑性的滚动轴承、机械元件及用于制造这样的滚动轴承、机械元件的固体膜形成方法。

本发明的一方式的滚动轴承的结构上的特征在于，具备内圈、外圈及设置于所述内圈与所述外圈之间的多个滚动体作为轴承结构元件，在至少一个所述轴承结构元件上形成有氟化物的固体膜，所述氟化物包含甲基丙烯酸3-(三甲氧基甲硅烷基)丙基酯、六氟丙烯及甲基丙烯酸甲酯作为成分，在所述固体膜中分散地添加有不具有官能团的润滑剂。

附图说明

前述及后述的本发明的特征及优点通过下面的具体实施方式的说明并参照附图而明确，其中，相同的标号表示相同的部件。

图1是表示本发明的滚动轴承的一实施方式的剖视图。

图2是表示甲基丙烯酸3-(三甲氧基甲硅烷基)丙基酯的通式(化学式)的图。

图3是表示六氟丙烯的通式(化学式)的图。

图4是表示甲基丙烯酸甲酯的通式(化学式)的图。

图5是固体膜的说明图。

图6是用于扬尘试验的装置的说明图。

图7是表示试验条件的图。

图8是表示20小时的平均扬尘量(个/cf)的坐标图。

图9是表示超过10级相当的扬尘量的时间(即扬尘寿命)的坐标图。

图10是说明固体膜形成方法的流程图。

具体实施方式

图1是表示本发明的滚动轴承的一实施方式的剖视图。滚动轴承10具备内圈11、外圈12、多个滚动体(13)及保持架14，在图1所示的方式中，所述滚动体是滚珠13。即，图1所示的滚动轴承10是滚珠轴承。保持架14是将多个滚珠13在周向上隔开间隔而保持的环状的部件。这些内圈11、外圈12、滚珠13及保持架14分别被称为轴承结构元件。在本实施方式中，在这些轴承结构元件各自的表面形成有固体膜15。