[发明专利]弹性波装置有效

专利信息
申请号: 201710426154.0 申请日: 2017-06-07
公开(公告)号: CN107547065B 公开(公告)日: 2020-11-20
发明(设计)人: 村濑智彦 申请(专利权)人: 株式会社村田制作所
主分类号: H03H9/64 分类号: H03H9/64;H03H9/52;H03H9/25
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 赵琳琳
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 弹性 装置
【权利要求书】:

1.一种弹性波装置,具备:

压电基板;

IDT电极,设置在所述压电基板上;

第一布线,与所述IDT电极连接,并设置在所述压电基板上;

绝缘层,设置在所述压电基板上,并且覆盖所述第一布线的至少一部分;

第二布线,设置在所述压电基板上,并且至少一部分隔着所述绝缘层配置在所述第一布线上,使得构成立体交叉部;

外周支承构件,设置在所述压电基板上,并且具有包围所述IDT电极、所述第一布线、所述第二布线以及所述绝缘层的开口部;

分隔支承构件,设置在所述压电基板上,并且配置在所述开口部内;以及

覆盖构件,设置在所述外周支承构件上以及所述分隔支承构件上,使得覆盖所述开口部,

所述第二布线具有对设置在所述压电基板上的部分和设置在所述绝缘层上的部分进行连接的台阶部,所述分隔支承构件覆盖所述台阶部,

构成多个所述立体交叉部,多个所述立体交叉部在所述IDT电极的电极指延伸的方向上配置在彼此不同的位置,

在将横穿所述分隔支承构件的方向设为宽度方向时,所述分隔支承构件具有宽度比其它部分宽的宽宽度部,使得覆盖多个所述立体交叉部中的所述台阶部。

2.一种弹性波装置,具备:

压电基板;

IDT电极,设置在所述压电基板上;

第一布线,与所述IDT电极连接,并设置在所述压电基板上;

绝缘层,设置在所述压电基板上,并且覆盖所述第一布线的至少一部分;

第二布线,设置在所述压电基板上,并且至少一部分隔着所述绝缘层配置在所述第一布线上,使得构成立体交叉部;

外周支承构件,设置在所述压电基板上,并且具有包围所述IDT电极、所述第一布线、所述第二布线以及所述绝缘层的开口部;

分隔支承构件,设置在所述压电基板上,并且配置在所述开口部内;以及

覆盖构件,设置在所述外周支承构件上以及所述分隔支承构件上,使得覆盖所述开口部,

所述第二布线具有对设置在所述压电基板上的部分和设置在所述绝缘层上的部分进行连接的台阶部,所述分隔支承构件覆盖所述台阶部,

构成多个所述立体交叉部,多个所述立体交叉部在所述IDT电极的电极指延伸的方向上配置在彼此不同的位置,并且多个所述立体交叉部在弹性波传播方向上配置在彼此不同的位置,

所述分隔支承构件在与所述IDT电极的电极指延伸的方向倾斜地交叉的方向上延伸,使得覆盖多个所述立体交叉部中的所述台阶部。

3.一种弹性波装置,具备:

压电基板;

IDT电极,设置在所述压电基板上;

第一布线,与所述IDT电极连接,并设置在所述压电基板上;

绝缘层,设置在所述压电基板上,并且覆盖所述第一布线的至少一部分;

第二布线,设置在所述压电基板上,并且至少一部分隔着所述绝缘层配置在所述第一布线上,使得构成立体交叉部;

外周支承构件,设置在所述压电基板上,并且具有包围所述IDT电极、所述第一布线、所述第二布线以及所述绝缘层的开口部;

分隔支承构件,设置在所述压电基板上,并且配置在所述开口部内;以及

覆盖构件,设置在所述外周支承构件上以及所述分隔支承构件上,使得覆盖所述开口部,

所述第二布线具有对设置在所述压电基板上的部分和设置在所述绝缘层上的部分进行连接的台阶部,所述分隔支承构件覆盖所述台阶部,

构成多个所述立体交叉部,多个所述立体交叉部在所述IDT电极的电极指延伸的方向上配置在彼此不同的位置,

所述分隔支承构件在俯视下弯折,使得覆盖多个所述立体交叉部中的所述台阶部。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的弹性波装置,其中,

所述分隔支承构件覆盖配置在所述绝缘层上的所述第二布线的部分。

5.根据权利要求4所述的弹性波装置,其中,

所述分隔支承构件覆盖所述绝缘层。

6.根据权利要求1~3中任一项所述的弹性波装置,其中,

具有多个所述IDT电极,并具有包含多个所述IDT电极的第一纵向耦合谐振器型弹性波滤波器、第二纵向耦合谐振器型弹性波滤波器,

所述立体交叉部配置在所述第一纵向耦合谐振器型弹性波滤波器与所述第二纵向耦合谐振器型弹性波滤波器之间。

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