[发明专利]HVPE用气体传输装置、反应腔及HVPE设备在审
| 申请号： | 201710403758.3 | 申请日： | 2017-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN107190312A | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 特洛伊·乔纳森·贝克;罗晓菊;王颖慧;谢宇 | 申请（专利权）人： | 镓特半导体科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C30B25/08;C23C16/455 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所31219 | 代理人： | 姚艳 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | hvpe 气体 传输 装置 反应 设备 | ||
1.一种HVPE用气体传输装置，其特征在于，所述HVPE用气体传输装置至少包括：含金属前驱物气体通路管道，屏蔽气体通路管道，以及含氮前驱物气体通路管道；其中：
所述含金属前驱物气体通路管道设有多根，且所述屏蔽气体通路管道套设于各含金属前驱物气体通路管道外；
所述含氮前驱物气体通路管道位于所述屏蔽气体通路管道的上方或者一侧。
2.根据权利要求1所述的HVPE用气体传输装置，其特征在于，所述含氮前驱物气体通路管道的长度小于所述屏蔽气体通路管道的长度的1/2。
3.根据权利要求1所述的HVPE用气体传输装置，其特征在于，各含金属驱物气体通路管道均匀排布在所述屏蔽气体通路管道内；或者，相邻含金属驱物气体通路管道之间以任意间距排布在所述屏蔽气体通路管道内，且相邻含金属驱物气体通路管道之间具有小于等于4个的不同的间距。
4.根据权利要求3所述的HVPE用气体传输装置，其特征在于，各含金属驱物气体通路管道的内径相同或者不同，各含金属驱物气体通路管道的长度相同或者不同。
5.根据权利要求4所述的HVPE用气体传输装置，其特征在于，所述含金属驱物气体通路管道的数量为2-30根，所述含金属驱物气体通路管道的内径为3-30mm，所述屏蔽气体通路管道的内径为30-200mm。
6.根据权利要求5所述的HVPE用气体传输装置，其特征在于，各含金属前驱物气体通路管道的长度均小于等于所述屏蔽气体通路管道的长度。
7.一种反应腔，其特征在于，所述反应腔至少包括：石英腔体，以及设置于所述石英腔体内的如权利要求1～6任一项所述的HVPE用气体传输装置。
8.根据权利要求7所述的反应腔，其特征在于，所述石英腔体至少包括：上段腔体，与所述上段腔体连接的中段腔体，以及与所述中段腔体连接的下段腔体；其中，所述上段腔体和所述下段腔体均为柱形腔体，且所述上段腔体的内径小于所述下段腔体的内径，所述中段腔体为匹配所述上段腔体内径和所述下段腔体内径的变径腔体。
9.根据权利要求8所述的反应腔，其特征在于，所述上段腔体的内壁与所述屏蔽气体通路管道的外壁之间的最短距离为5-50mm。
10.一种HVPE设备，其特征在于，所述HVPE设备至少包括：如权利要求7所述的反应腔。
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