[发明专利]HVPE用气体传输装置、反应腔及HVPE设备

权利要求书

1.一种HVPE用气体传输装置，其特征在于，所述HVPE用气体传输装置至少包括：含金属前驱物气体通路管道，屏蔽气体通路管道，以及含氮前驱物气体通路管道；其中：

所述含金属前驱物气体通路管道和所述屏蔽气体通路管道均为圆形管道，且所述屏蔽气体通路管道套设于所述含金属前驱物气体通路管道外，形成圆形双套管结构；

所述含氮前驱物气体通路管道位于所述圆形双套管结构的上方或者一侧。

2.根据权利要求1所述的HVPE用气体传输装置，其特征在于，所述含氮前驱物气体通路管道的长度小于所述圆形双套管结构的长度的1/4。

3.根据权利要求2所述的HVPE用气体传输装置，其特征在于，所述含氮前驱物气体通路管道的长度小于所述圆形双套管结构的长度的1/10。

4.根据权利要求1所述的HVPE用气体传输装置，其特征在于，所述含金属前驱物气体通路管道的长度小于等于所述屏蔽气体通路管道的长度。

5.根据权利要求4所述的HVPE用气体传输装置，其特征在于，所述含金属前驱物气体通路管道的内径为20～70mm，所述屏蔽气体通路管道的内径为30～110mm，且所述含金属前驱物气体通路管道与所述屏蔽气体通路管道之间的内径比为1:1.1～1:5。

6.根据权利要求5所述的HVPE用气体传输装置，其特征在于，所述含金属前驱物气体通路管道的内径为25～50mm，所述屏蔽气体通路管道的内径为30～80mm，且所述含金属前驱物气体通路管道与所述屏蔽气体通路管道之间的内径比为1:1.2～1:3。

7.根据权利要求1所述的HVPE用气体传输装置，其特征在于，所述含氮前驱物气体通路管道为侧通管道，其底端封闭，其侧壁上开设有至少两个出气孔，且所述出气孔在所述含氮前驱物气体通路管道的侧壁上等距分布。

8.根据权利要求1所述的HVPE用气体传输装置，其特征在于，所述含氮前驱物气体通路管道由水平段管道以及垂直于所述水平段管道的竖直段管道构成，其中，所述水平段管道的上表面开设有至少两个出气孔。

9.根据权利要求1所述的HVPE用气体传输装置，其特征在于，所述HVPE用气体传输装置还包括：载气通路管道，所述载气通路管道套设于所述含金属前驱物气体通路管道内。

10.根据权利要求9所述的HVPE用气体传输装置，其特征在于，所述载气通路管道的长度比所述含金属前驱物气体通路管道的长度短50～600mm。

11.根据权利要求10所述的HVPE用气体传输装置，其特征在于，所述载气通路管道的长度比所述含金属前驱物气体通路管道的长度短200～300mm。

12.一种反应腔，其特征在于，所述反应腔至少包括：石英腔体，以及设置于所述石英腔体内的如权利要求1～11任一项所述的HVPE用气体传输装置。

13.根据权利要求12所述的反应腔，其特征在于，所述石英腔体至少包括：上段腔体，与所述上段腔体连接的中段腔体，以及与所述中段腔体连接的下段腔体；其中，所述上段腔体和所述下段腔体均为柱形腔体，且所述上段腔体的内径小于所述下段腔体的内径，所述中段腔体为匹配所述上段腔体内径和所述下段腔体内径的变径腔体。

14.一种HVPE设备，其特征在于，所述HVPE设备至少包括：如权利要求12所述的反应腔。