[发明专利]一种烤盘防粘处理方法

权利要求书

1.一种烤盘防粘处理方法，其特征在于：包括如下步骤：

步骤(1)、将烤盘放入超声波清洗机内进行超声波清洗，清洗时间8m～12min；

步骤(2)、将烤盘从超声波清洗机拿出，用蒸馏水清洗一次；

步骤(3)、将经过蒸馏水清洗后的烤盘用乙醇再清洗一次；

步骤(4)、将经过乙醇清洗后的烤盘放置于烘箱中进行烘干；

步骤(5)、将经过步骤(4)烘干后的烤盘采用氢氧化钠水溶液或者双氧水溶液进行冲洗，然后将烤盘进行干燥；

步骤(6)、将经过步骤(5)冲洗和干燥后的烤盘放入密闭的加热箱内进行热处理，加热的同时通入载气为惰性气体且内部含有硅烷蒸汽的混合汽体，调节加热箱体内部温度为100℃～500℃，热处理时间为15～300min，热处理结束后自然冷却至室温，然后拿出烤盘，结束。

2.根据权利要求1所述的烤盘防粘处理方法，其特征在于：所述步骤(5)中，氢氧化钠水溶液浓度为0.01mol/L～1mol/L；双氧水溶液浓度为0.1％～5％。

3.根据权利要求1所述的烤盘防粘处理方法，其特征在于：所述步骤(6)中，所述硅烷为包括含有烷基的硅烷试剂。

4.根据权利要求1所述的烤盘防粘处理方法，其特征在于：所述步骤(6)中，所述硅烷为二甲基硅氧烷或硅酸四乙酯或二丙基二甲氧基硅烷或二乙基二乙氧基硅烷。

5.根据权利要求1所述的烤盘防粘处理方法，其特征在于：所述惰性气体为氮气，混合汽体的气流量为10sccm～200sccm。