[发明专利]一种二氧化锡气敏薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201710373345.5 | 申请日： | 2017-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN107311695A | 公开（公告）日： | 2017-11-03 |
| 发明（设计）人： | 汪洋;李训红;汪雪婷 | 申请（专利权）人： | 江苏时瑞电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/85 | 分类号： | C04B41/85;G01N27/12 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 212434 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 锡气敏 薄膜 制备 方法 | ||
1.一种二氧化锡气敏薄膜的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
步骤1，以重量份计，将草酸亚锡4-10份加至去离子水30-40份中，搅拌条件下加入葡萄糖0.8-1.5份、柠檬酸0.4-1.2份、表面活性剂0.3-0.7份，加热至30-40℃保温30-40min，冷却，得到混合液；
步骤2，以重量份计，将三乙醇胺0.5-1份加至步骤1所得混合液中，调节pH至6.0-7.0，滴加无水乙醇0.5-1.2份，搅拌，得到溶胶；
步骤3，将步骤2所得溶胶旋涂在印刷有叉指银电极的氧化铝基片上，干燥，烧结，即得。
2.根据权利要求1所述的二氧化锡气敏薄膜的制备方法，其特征在于：所述表面活性剂为十二烷基苯磺酸钠。
3.根据权利要求1所述的二氧化锡气敏薄膜的制备方法，其特征在于：步骤2中滴加无水乙醇的速度为0.1-0.2mL/min。
4.根据权利要求1所述的二氧化锡气敏薄膜的制备方法，其特征在于：步骤2中采用10-15wt.%氢氧化钠溶液调节pH。
5.根据权利要求1所述的二氧化锡气敏薄膜的制备方法，其特征在于：步骤3中干燥条件为100-110℃、10-15min。
6.根据权利要求1所述的二氧化锡气敏薄膜的制备方法，其特征在于：步骤3中烧结过程是先以60℃/h升温至300-400℃保温40min，再以150℃/h升温至550-650℃保温100-120min。
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