[发明专利]用于安装抛光垫的装置

说明书

本发明公开了一种用于安装抛光垫的装置，包括：底盘；至少两个调节定位装置，所述调节定位装置安装于所述底盘的侧壁上且位于同一圆周面，所述调节定位装置包括：滑台组件，所述滑台组件相对所述底盘径向方向可移动，通过调节所述滑台组件相对所述底盘的位置从而限定出所述抛光垫的安装区域，使得所述抛光垫同心设置于所述底盘的安装面上。根据本发明实施例的用于安装抛光垫的装置，在底盘的侧壁上设置至少两个调节定位装置，通过调节滑台组件相对底盘的位置从而限定出抛光垫的安装区域，使得抛光垫同心设置于底盘的安装面上，提高对晶圆抛光的工艺效果。

技术领域

本发明属于半导体技术领域，特别涉及一种用于安装抛光垫的装置。

背景技术

在对晶圆进行抛光之前，首先需要将抛光垫安装于底盘上，通常是手动将抛光垫水平放置在底盘上，再将抛光垫上的塑料保护层撕掉。由于底盘直径尺寸较大，且抛光垫尺寸不一，因此，无法保证抛光垫与底盘同心设置，且在安装过程中抛光垫与底盘的接触面容易产生气泡，影响工艺效果。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决上述技术问题之一。

为此，本发明提出一种用于安装抛光垫的装置，该用于安装抛光垫的装置可以准备定位抛光垫，使得抛光垫与底盘同心设置，提高抛光垫的工艺处理效果。

根据本发明实施例的用于安装抛光垫的装置包括：底盘；至少两个调节定位装置，所述调节定位装置安装于所述底盘的侧壁上且位于同一圆周面，所述调节定位装置包括：滑台组件，所述滑台组件相对所述底盘径向方向可移动，通过调节所述滑台组件相对所述底盘的位置从而限定出所述抛光垫的安装区域，使得所述抛光垫同心设置于所述底盘的安装面上。

根据本发明实施例的用于安装抛光垫的装置，在底盘的侧壁上设置至少两个调节定位装置，通过调节滑台组件相对底盘的位置从而限定出抛光垫的安装区域，使得抛光垫同心设置于底盘的安装面上，提高对晶圆抛光的工艺效果。

另外，根据本发明实施例的用于安装抛光垫的装置，还可以具有如下附加的技术特征：

根据本发明的一个实施例，所述调节定位装置进一步包括：定位组件，所述定位组件包括弧形定位板和水平定位板，所述弧形定位板贴合设置于所述底盘的侧壁且与所述底盘同心设置，所述水平定位板相切于所述弧形定位板的下部，所述滑台组件垂直设置于所述水平定位板；上面板，所述上面板设置于所述滑台组件顶面，所述上面板具有朝向所述底盘方向敞开的定位孔，所述定位孔用于安装定位杆。

根据本发明的一个实施例，所述底盘的侧壁上设有至少两个安装孔，两个所述安装孔位于同一圆周面上且两个所述安装孔与圆心的连线成直角，所述弧形定位板通过紧固件与所述安装孔配合固定于所述底盘的侧壁。

根据本发明的一个实施例，所述底盘的上部具有倾斜面，所述倾斜面沿所述安装面的周缘向外向下倾斜延伸。

根据本发明的一个实施例，定位杆的下端不高于所述底盘的安装面，所述定位杆的上端高于所述底盘的安装面。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本发明一个实施例的用于安装抛光垫的装置的俯视图；

图2是图1中沿A-A线的剖视图；

图3是图2中B处的放大图。

附图标记：

用于安装抛光垫的装置100；

底盘10；安装面11；倾斜面12；