[发明专利]双轴定位器

权利要求书

1.一种双轴定位器，其具备：

第1马达，其生成第1驱动力；

第1减速器，其以预定的减速比放大所述第1驱动力；

工件台，其在所述第1减速器放大了的所述第1驱动力的作用下绕沿着第1方向延伸的第1旋转轴线旋转；

第2马达，其生成第2驱动力；

第2减速器，其以预定的减速比放大所述第2驱动力；

支承旋转体，其在所述第2减速器放大了的所述第2驱动力的作用下绕沿着与所述第1方向不同的第2方向延伸的第2旋转轴线旋转，使所述工件台倾斜；

支承框架，其支承所述支承旋转体，

所述支承旋转体形成供所述第1马达和所述第2马达收容的收容空间，

所述第2减速器包括：固定部，其固定于所述支承框架；旋转部，其绕所述第2旋转轴线旋转，

所述支承旋转体与所述旋转部连结。

2.根据权利要求1所述的双轴定位器，其中，

所述第1减速器以与所述工件台同轴旋转的方式安装于所述支承旋转体，

所述第2马达以在所述第1方向上与所述第1减速器至少局部重叠的方式与所述第2减速器连结。

3.根据权利要求1所述的双轴定位器，其中，

沿着所述第1旋转轴线延伸并与所述收容空间相连的贯通孔在所述工件台和所述第1减速器的整个范围形成。

4.根据权利要求1所述的双轴定位器，其中，

所述第1马达具有与所述第1旋转轴线平行的输出轴线。

5.根据权利要求1所述的双轴定位器，其中，

该双轴定位器还具备：

第1电缆，其用于向所述第1马达供给电力；

第2电缆，其用于向所述第2马达供给电力，

所述第1电缆和所述第2电缆经由在所述支承旋转体形成的通用的开口部与所述第1马达和所述第2马达分别连接。

6.根据权利要求5所述的双轴定位器，其中，

所述支承旋转体包括沿着所述第2旋转轴线延伸并与所述支承框架连结的筒状的轴颈，

所述轴颈形成所述开口部。

7.根据权利要求1所述的双轴定位器，其中，

所述第2减速器包括与所述固定部连结的齿轮机构，

所述旋转部包括具有形成有多个内齿的内周面的外筒，

所述齿轮机构与所述多个内齿啮合，在来自所述第2马达的所述第2驱动力的传递的作用下，使所述外筒绕所述第2旋转轴线旋转。

8.根据权利要求1所述的双轴定位器，其中，

所述第1旋转轴线与所述第2旋转轴线交叉。

9.根据权利要求1所述的双轴定位器，其中，

所述第2马达与所述第2减速器同轴旋转。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的双轴定位器，其中，

在所述支承旋转体绕所述第2旋转轴线旋转期间，所述工件台、所述第1减速器和所述第1马达进行绕所述第2旋转轴线的角运动。