[发明专利]一种反射式激光光束整形装置

权利要求书

1.一种反射式激光光束整形装置，其特征在于，包括：

相位调制镜(1)，用于对入射激光进行相位调制处理并进行聚焦处理输出第一激光；所述相位调制镜设有相间排列的多个凹反射面(12)和多个凸反射面(11)；所述凹反射面(12)用于接收并反射入射激光的任意峰，所述凸反射面(11)用于接收并反射入射激光的任意峰；当所述凹反射面(12)与所述凸反射面(11)相邻时，由所述凹反射面(12)反射的入射激光的峰与由所述凸反射面(11)反射的入射激光的峰相邻；两个相邻的所述凸反射面(11)与所述凹反射面(12)的高度差使入射激光中两个相邻峰的光程差为入射激光波长的整数倍，所述第一激光的中心主峰的相位与所述第一激光的次级小峰的相位相同；

光阑(2)，其位于所述相位调制镜(1)的焦点处，其孔径与所述第一激光的中心主峰的宽度相同，用于对所述第一激光进行过滤处理，输出过滤后激光，所述过滤后激光中仅存在中心主峰。

2.如权利要求1所述的反射式激光光束整形装置，其特征在于，所述相位调制镜(1)中，所述入射激光与任意一个凹反射面(12)的法线之间的夹角和所述入射激光与任意一个凸反射面(11)的法线之间的夹角相等，且凹反射面(12)与凸反射面(11)的高度差满足公式

其中，Δ为两个相邻的凹反射面(12)与凸反射面(11)之间的高度差，λ为入射激光的波长，k为正整数，θ为入射激光与凹反射面(12)的法线之间的夹角。

3.如权利要求1至2任一项所述的反射式激光光束整形装置，其特征在于，还包括准直镜(3)，所述光阑(2)位于所述准直镜(3)的焦点处，所述准直镜(3)用于对过滤后激光进行准直处理，输出准直后激光。

4.如权利要求3所述的反射式激光光束整形装置，其特征在于，所述准直镜(3)为反射式准直镜。

5.如权利要求3所述的反射式激光光束整形装置，其特征在于，所述相位调制镜(1)的反射面上和所述准直镜(3)的反射面上均镀有增反膜。

6.如权利要求3所述的反射式激光光束整形装置，其特征在于，所述相位调制镜(1)和所述准直镜(3)均为抛物面镜。

7.如权利要求3所述的反射式激光光束整形装置，其特征在于，所述相位调制镜(1)和所述准直镜(3)的内部均都设有环形水冷通道(4)，用于降低所述相位调制镜(1)和所述准直镜(3)的温度。