[发明专利]照明装置及检查装置在审
| 申请号： | 201710348546.X | 申请日： | 2017-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN107390449A | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 渡边健一 | 申请（专利权）人： | JUKI株式会社 |
| 主分类号： | G03B15/02 | 分类号： | G03B15/02;G03B21/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 何立波,张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 照明 装置 检查 | ||
【权利要求书】：
1.一种照明装置，其对拍摄装置的拍摄对象进行照明，
该照明装置的特征在于，具有：
投影器，其照射光；以及
光学系统，其将来自所述投影器的光引导至所述拍摄对象，
能够将所述投影器的光切换为有投影图案的投影光和无投影图案的照明光。
2.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，
所述光学系统将来自所述投影器的光从与所述拍摄装置的光轴同轴的方向引导至所述拍摄对象。
3.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，
所述投影器投影所述拍摄装置的校准用的测试图而作为投影图案。
4.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，
所述投影器是DLP投影器，
利用全部DMD元件一律地使来自光源的光反射，照射无投影图案的照明光。
5.一种检查装置，其特征在于，具有：
权利要求1至权利要求4中任一项所述的照明装置；
拍摄装置，其对利用所述照明装置照明的拍摄对象进行拍摄；以及
控制装置，其基于利用所述拍摄装置拍摄出的拍摄图像，对拍摄对象进行检查。
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