[发明专利]涂布液管路以及涂布装置

说明书

技术领域

本发明属于液体脱泡技术领域，具体涉及一种涂布液管路以及涂布装置。

背景技术

在制造显示面板的过程中，很多结构(例如薄膜晶体管、像素电极等)要通过涂布工艺制造，而涂布工艺采用的涂布液(例如聚酰亚胺)很容易出现气泡，从而导致涂布设备损坏、产品品质较差等问题。现有技术中，去除涂布液中的气泡的方法主要有以下两种，一种是对涂布喷头进行清洗，使气泡随着涂布液排出；另一种是在储存涂布液的腔室中接上真空管，使其成为一个真空腔室，以此除去涂布液中的气泡。

但现有技术中至少存在如下问题：对涂布喷头进行清洗只能去除涂布喷头附近管路中的少量气泡，效果不佳，且需要多次重复进行，但是这样会影响生产效率；由于涂布液在真空腔室中停留时间有限，只能去除部分气泡，且在后续过程中可能有新的气泡重新进入涂布液。因此，现有技术的方法皆无法彻底除去涂布液中的气体。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种能够在传输涂布液的过程中去除涂布液中气泡的涂布液管路。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是一种涂布液管路，包括：

用于传输涂布液的管状的主体部，所述主体部的至少部分壁面由透气膜构成；

设于所述透气膜远离所述主体部一侧的负压部，所述负压部中能形成负气压以将主体部内涂布液中的气体通过所述透气膜抽出。

优选的，所述主体部设置于所述负压部内。

进一步优选的，所述负压部为套设于所述主体部外的套管。

进一步优选的，所述主体部的全部壁面均由所述透气膜构成。

优选的，所述涂布液管路包括管状体，所述透气膜沿轴向将管状体内部分割为两个空间，所述透气膜和其一侧的管状体壁面为主体部，所述透气膜另一侧的管状体壁面为负压部。

优选的，所述透气膜为高分子膜层。

进一步优选的，所述高分子膜层为聚四氟乙烯微孔薄膜。

解决本发明技术问题所采用的另一种技术方案是一种涂布装置，包括涂布喷头，还包括上述任意一种所述涂布液管路，所述涂布喷头与所述主体部的一端连接。

优选的，所述涂布装置还包括抽气单元，用于对所述负压部进行抽气，以使所述负压部保持负压。

进一步优选的，所述抽气单元为真空泵。

本发明的涂布液管路包括主体部和负压部，利用二者之间的压差将流经主体部的涂布液中的气泡除去，同时又不影响涂布液的传输；故在进行涂布工艺时，将该涂布液管路的主体部直接与涂布喷头连接，可保证最终喷出的涂布液中没有气泡，从而提高产品的制造效率及良品率。

附图说明

图1为本发明的实施例1的一种涂布液管路的结构示意图；

图2为本发明的实施例1的一种涂布液管路的剖面图；

图3为本发明的实施例1的另一种涂布液管路的结构示意图；

图4为本发明的实施例1的另一种涂布液管路的剖面图；

其中附图标记为：1、主体部；2、负压部；3、透气膜。

具体实施方式

为使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细描述。

实施例1：

如图1至图4所示，本实施例提供一种用于传输涂布液的涂布液管路，可以在传输涂布液的过程中去除涂布液中的气泡。其中，涂布液可以是在制造显示面板时涂布工艺中所用的原料，例如有机发光层材料、光刻胶材料等。

该涂布液管路包括主体部1和负压部2，其中主体部1为管状，用于传输涂布液，其至少部分壁面由透气膜3构成；负压部2设于透气膜3远离主体部1的一侧，负压部2中能形成负气压以将主体部1内涂布液中的气体通过透气膜3抽出。

其中，透气膜3为能够使气体分子通过，同时又能够阻挡涂布液分子通过的膜层。负气压指负压部2的气压低于主体部1内的压力。当然，透气膜3材料应具有一定强度，以避免出现由于气压的原因产生变形甚至破裂的情况。

具体的，在进行涂布工艺时，当涂布液流经涂布液管路的主体部1时，由于主体部1内压力大于负压部2内的气压，涂布液中的气泡也会因为压差的关系上升到涂布液表面破裂，气泡中的气体通过透气膜3进入负压部2，而由于透气膜3的特殊性质，涂布液分子无法通过透气膜3，故而不会进入负压部2，而是继续在主体部1内传输。因此，该涂布液管路可以将涂布液中的气泡除去，同时又不影响涂布液的传输。