[发明专利]阵列基板、显示面板、显示装置以及阵列基板的制作方法有效
申请号: | 201710312403.3 | 申请日: | 2017-05-05 |
公开(公告)号: | CN107093584B | 公开(公告)日: | 2019-11-19 |
发明(设计)人: | 金慧俊;朱雪婧;曹兆铿 | 申请(专利权)人: | 上海中航光电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/84 | 分类号: | H01L21/84;H01L27/12;G02F1/1362;G06F3/041 |
代理公司: | 11444 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王刚;龚敏<国际申请>=<国际公布>=< |
地址: | 201108 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阵列 显示 面板 显示装置 以及 制作方法 | ||
本申请涉及显示技术领域,尤其涉及一种阵列基板、显示面板、显示装置以及阵列基板的制作方法。制作方法采用第一掩膜版制作栅极线与像素电极,采用第二掩膜版制作薄膜晶体管与触控信号线、采用第三掩膜版制作第一过孔与第二过孔,采用第四掩膜版制作公共电极层,且公共电极层包括第一连接结构和公共电极单元,公共电极单元包括第二连接结构,第一连接结构通过第一过孔与漏极、像素电极均接触;第二连接结构通过第二过孔与触控信号线接触。本申请通过四块掩膜版实现了阵列基板的制作,减少了掩膜版的数量,能够降低制造成本。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种阵列基板、显示面板、显示装置以及阵列基板的制作方法。
背景技术
随着液晶显示技术的不断发展,液晶显示面板广泛应用于移动终端、家用电视、数字相机、计算机等显示设备中。液晶显示面板包括阵列基板、彩膜基板以及位于阵列基板与封装基板之间的液晶。
内置触控液晶显示将实现触控功能的触控电极集成在阵列基板或者彩膜基板。其中,当触控电极集成在阵列基板上时,该阵列基板包括像素电极、栅极线、有源层、源漏层、触控信号线以及触控电极、目前较为常用的方法为采用六个掩膜版逐层制作,甚至有的采用八个掩膜版制作用于触控显示的阵列基板。
显然,采用上述方式,需要的掩膜版的数量较多,增加制造成本。
发明内容
本申请提供了一种显示面板、显示装置以及阵列基板的制作方法,能够解决上述问题。
本申请的第一方面提供了一种阵列基板的制作方法,包括:
使用第一掩膜版在衬底基板的一侧形成栅极线和像素电极;
在所述栅极线和所述像素电极远离所述衬底基板的外侧形成第一绝缘层,所述第一绝缘层覆盖所述栅极线和所述像素电极;
使用第二掩膜版在所述第一绝缘层远离所述衬底基板的一侧形成有源层和源漏层,所述源漏层包括源极、漏极、数据信号线和触控信号线,所述源极和所述漏极均与所述有源层电连接;
在所述有源层和所述源漏层远离所述衬底基板的外侧形成第二绝缘层,所述第二绝缘层覆盖所述有源层和所述源漏层;
使用第三掩膜版形成第一过孔和第二过孔,所述第一过孔贯通所述第一绝缘层和所述第二绝缘层,所述第二过孔贯通所述第二绝缘层,且所述像素电极的至少一部分、所述漏极的至少一部分裸露于所述第二过孔,所述触控信号线的至少一部分裸露于所述第一过孔;
使用第四掩膜版形成具有多个公共电极单元的公共电极层,所述公共电极层还包括第一连接结构,各所述公共电极单元包括第二连接结构,所述第一连接结构、所述第二连接结构相互绝缘,所述第一连接结构通过所述第一过孔与所述漏极、所述像素电极均接触;所述第二连接结构通过所述第二过孔与所述触控信号线接触。
本申请的第二方面提供了一种阵列基板,包括衬底基板、设置在所述衬底基板的一侧的栅极线、像素电极、第一绝缘层、有源层和源漏层、第二绝缘层和公共电极层,
所述第一绝缘层覆盖所述栅极线和所述像素电极;所述第二绝缘层覆盖所述有源层和所述源漏层;
所述源漏层包括源极、漏极、数据信号线和触控信号线,所述源极和所述漏极均与所述有源层电连接;
所述公共电极层包括多个公共电极单元和第一连接结构,各所述公共电极单元包括与所述第一连接结构绝缘的第二连接结构;
所述阵列基板还设置有贯穿所述第一绝缘层和所述第二绝缘层的第一过孔、贯穿所述第二绝缘层的第二过孔,所述第一连接结构通过所述第一过孔与所述漏极接触,所述第二连接结构通过所述第二过孔与所述触控信号线接触。
本申请的第三方面提供了一种显示面板,包括如上所述的阵列基板。
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