[发明专利]转印装置以及基板处理装置

权利要求书

1.一种转印方法，其特征在于，包括：

在由规定厚度的多孔质材料形成的多孔质板的一方的面侧由液状或者凝胶状的功能性材料形成转印用的图案层的步骤，所述转印用的图案层由构成电子设备的层叠构造构成；

使能够供所述图案层转附的对象物与所述多孔质板的所述一方的面侧密接而使所述图案层与所述对象物的表面接触的步骤；以及

以使规定压力的气体从所述多孔质板的另一方的面侧向所述一方的面侧通过的方式供给所述气体，由此利用所述气体的压力使由所述功能性材料形成的所述图案层从所述多孔质板的所述一方的面侧剥离并转附于所述对象物的步骤。

2.根据权利要求1所述的转印方法，其特征在于，

所述多孔质板的形成所述图案层的部分具有相对于所述功能性材料具有疏液性的分子构造。

3.根据权利要求2所述的转印方法，其特征在于，

为了形成相对于所述功能性材料具有疏液性的分子构造，而利用氟基对所述多孔质板的形成所述图案层的所述一方的面侧的表面实施改性。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的转印方法，其特征在于，

以从所述多孔质板的另一方的面侧向所述一方的面侧通过的方式供给的所述气体从喷出部喷出，所述喷出部具有沿一方向呈插口状地延伸的开口部、或者沿一方向排列的多个小开口。

5.根据权利要求4所述的转印方法，其特征在于，

在将形成于所述多孔质板的所述图案层转附于所述对象物时，移动所述多孔质板以及所述喷出部中的至少一方，以使所述开口部或者所述多个小开口沿着所述多孔质板的另一方的面相对移动。

6.根据权利要求5所述的转印方法，其特征在于，

所述多孔质板形成为具有外周面和内周面的筒状，

所述图案层形成于所述筒状的多孔质板的外周面。