[发明专利]检查装置、检查系统和物品制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于执行物体的检查的检查装置、检查系统以及物品制造方法。

背景技术

对于针对例如外观(appearance)而对物体(例如工件(work))的检查，已经越来越多地使用基于通过对用光照明的物体进行成像而获得的图像对物体进行检查的检查装置来代替视觉检查装置。这些检查装置包括用于针对颜色缺陷以及物体表面的高度不均匀性(凹和凸)而对物体进行检查的检查装置(日本专利No.5470708)。在日本专利No.5470708中公开的检查装置基于从物体规则反射的光(镜面反射光)检测物体的高度不均匀性并且基于从物体漫反射的光检测与颜色不规则性相关联的缺陷。

虽然在日本专利No.5470708中公开的检查装置基于从物体漫反射的光检测颜色不规则性，但是没有充分考虑照明光的波长以用于关于物体的颜色而检查该物体。

发明内容

本发明提供例如在关于物体的颜色而检查物体的方面有利的检查装置。

本发明的一方面提供用于执行物体的检查的检查装置。该装置包括：被配置为对物体进行照明的照明设备、被配置为对由照明设备照明的物体进行成像的成像设备、以及被配置为基于由成像设备所获得的图像执行用于检查的处理的处理器。该处理器被配置为基于在照明设备用具有第一波长的光的暗场照明下由成像设备获得的第一图像和在照明设备用具有不同于第一波长的第二波长的光的暗场照明下由成像设备获得的第二图像执行处理。

从以下参考附图对示例性实施例的描述，本发明的另外的特征将变得清楚。

附图说明

图1是示出根据第一实施例的检查装置的示例性配置的图。

图2是示出照明设备的示例性配置的图。

图3是示出照明设备的示例性配置的图。

图4是示出颜色缺陷的阈值的图。

图5是示出根据第二实施例的检查装置的照明设备的示例性配置的图。

图6是示出根据第三实施例的检查装置的示例性配置的图。

具体实施方式

将参考附图描述本发明的实施例。在示出实施例的图中，原则上(除非另有注释)，相同的部件由相同的附图标记来指定，并且避免冗余描述。

第一实施例

图1是示出根据第一实施例的检查装置的示例性配置的图。在图1中，检查装置1检查目标(物体)(诸如工件10)的外观。工件10的示例包括用于工业产品中的金属构件和树脂构件。工件10的表面可能具有缺陷(诸如损伤(flaw)、不规则性(例如颜色不规则性)或高度不均匀性)。检查装置1基于通过对工件10进行成像而获得的图像来检测缺陷并且将该工件分类(归类)为例如无缺陷的或者有缺陷的。

检查装置1包括照明设备11、包括照相机12和光学系统14的成像设备、控制器18、处理器15、显示单元16和输入单元17。检查装置1可以进一步包括用于保持工件10的保持器13。工件10被运送单元(未示出)(诸如图6中的传送器1012)携载到相对于检查装置1的预定的位置。在检查之后，工件10由运送单元携载远离预定的位置。

照明设备11对工件10进行照明。成像设备(包括照相机12和光学系统14)对由照明设备11照明的工件10进行成像以获得图像。由成像设备获得的工件10的图像被传递到处理器15。处理器15可以包括信息处理装置，该信息处理装置包括中央处理单元(CPU)15a、随机存取存储器(RAM)15b和硬盘驱动器(HDD)15c。处理器15可以获得关于所获得(传递)的目标图像的评估值并且执行基于该评估值和阈值(允许的范围)将工件分类为无缺陷或有缺陷的处理(分类处理)。例如，CPU 15a执行用于分类处理的程序并且RAM 15b和HDD 15c存储程序和数据。显示单元16包括TV监视器并且显示由处理器15执行的处理的结果。输入单元17包括键盘17a和鼠标17b并且响应于例如用户操作允许数据或指令输入到控制器18或处理器15。控制器18和处理器15可以被配置为公共信息处理单元。