[发明专利]一种光谱可调光源及其光谱调节方法有效
申请号: | 201710296039.6 | 申请日: | 2017-04-28 |
公开(公告)号: | CN107192667B | 公开(公告)日: | 2023-09-01 |
发明(设计)人: | 薛勋;李坤;李晶;郭毅;赵建科;曹昆;张洁;胡丹丹;刘尚阔;昌明;赵怀学 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/31 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 倪金荣 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光谱 可调 光源 及其 调节 方法 | ||
1.一种光谱可调光源的光谱调节方法,所述光谱可调光源包括出射光源系统(1)、光谱分解调节系统(2)、光谱混合系统(3)、光谱采集系统(4)以及主控系统(5);所述光谱分解调节系统(2)包括依次设置的棱镜(21)、第一会聚镜(22)、数字微镜器件(23)和第二会聚镜(24);所述数字微镜器件(23)位于第一会聚镜(22)的焦面位置;所述数字微镜器件(23)为多个,多个数字微镜器件(23)沿纵向逐个拼接;所述出射光源系统(1)包括连续谱光源(11)、狭缝(12)和准直透镜(13),所述狭缝(12)以及准直透镜(13)依次设置在连续谱光源(11)的出射光路上;所述光谱混合系统(3)包括积分球(31);所述积分球(31)位于所述数字微镜器件(23)反射光路上;所述第二会聚镜(24)位于所述数字微镜器件(23)与积分球(31)之间;所述光谱采集系统(4)包括光谱辐射度计,用于监测所述积分球(31)的输出的光谱辐亮度值和光谱分布曲线;或者包括光纤光谱仪,用于监测所述积分球(31)的输出的光谱辐照度值和光谱分布曲线;
其特征在于:包含以下步骤:
1)、数据收集
1.1)点亮连续谱光源(11),待其稳定;连续谱光源(11)照射狭缝(12),狭缝(12)出射光束经过准直透镜(13)准直后出射平行复色光束,平行复色光束经过棱镜(21)后,不同波长的单色光沿不同方向折射,但同一波长的单色光束仍维持平行;不同波长的单色平行光束经过第一会聚镜(22)后会聚到其像方焦面上的不同位置,各个波长的单色光束的狭缝(12)成像依次排列在第一会聚镜(22)的焦面处,形成狭缝(12)的一系列不同颜色的像;
1.2)主控系统(5)控制数字微镜器件(23)的所有动镜转动至关闭状态;
1.3)主控系统(5)控制数字微镜器件(23)第一列的动镜进行转动;从上向下依次打开第一列的所有动镜,每打开一个动镜,光谱采集系统(4)便采集一组光谱信息,动镜的开合数量及其状态与光谱信息一一对应,作为后续光谱调整的初始数据,直到第一列动镜全部打开为止;
1.4)重复步骤1.2)、1.3),分别对数字微镜器件(23)剩余各列的动镜进行初始数据采集,采集的光谱信息储存在主控系统(5)内部数据库中;
2)、数据输入、粗调
2.1)向主控系统(5)输入需要获取光源的光谱信息,主控系统(5)将输入的光谱信息进行归一化处理;
2.2)主控系统(5)基于输入的光谱信息以及内部数据库中的数据,根据最小二乘法计算得到与每列数字微镜器件(23)动镜的开关动作相对应的开关信号值的最优值;
2.3)主控系统(5)根据计算得到的数字微镜器件(23)每个动镜需要开关所对应的开关信号值的最优值,发出控制指令,驱动各个动镜转动到位;
3)、闭环自反馈精调,获取目标光源
3.1)通过光谱采集系统(4)测试积分球(31)的光谱信息,并与所需要的目标光谱信息进行比对;
3.2)主控系统(5)基于测得的光谱信息得到实际光谱信息曲线,再根据实际光谱信息曲线与目标光谱信息曲线的误差,微量调整每种波长范围,直到获得的光谱信息曲线与目标光谱信息曲线误差小于5%,结束精细调整环节;至此,整个光谱调节过程结束。
2.根据权利要求1所述的光谱可调光源的光谱调节方法,其特征在于:
所述出射光源系统(1)和光谱分解调节系统(2)为多组,多组出射光源系统(1)和光谱分解调节系统(2)产生的光束同时射入同一个光谱混合系统(3)。
3.根据权利要求1或2所述的光谱可调光源的光谱调节方法,其特征在于:所述棱镜(21)采用高色散率玻璃制成。
4.根据权利要求3所述的光谱可调光源的光谱调节方法,其特征在于:所述数字微镜器件(23)的动镜在开启位置与关闭位置时分别与水平面的夹角为12°和168°。
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