[发明专利]光学传感器以及形成光学传感器的方法

权利要求书

1.一种光学传感器，包括：

衬底，所述衬底具有第一表面；

第一通孔，所述第一通孔延伸穿过所述衬底；

沟槽，所述沟槽形成在所述衬底的所述第一表面中并与所述第一通孔流体连通；以及

传感器裸片，所述传感器裸片附接至所述衬底的所述第一表面，所述传感器裸片覆盖所述第一通孔以及所述沟槽的第一部分，所述沟槽的第二部分未被所述传感器裸片所覆盖。

2.如权利要求1所述的光学传感器，其中，所述衬底包括阻焊层，所述沟槽形成在所述阻焊层中。

3.如权利要求1所述的光学传感器，进一步包括耦合至所述衬底的发光器件。

4.如权利要求3所述的光学传感器，其中，所述发光器件附接至所述传感器裸片的顶表面。

5.如权利要求3所述的光学传感器，进一步包括帽盖，所述帽盖定位在所述传感器裸片的侧表面周围并且覆盖所述传感器裸片的至少一部分，所述帽盖具有侧壁和内壁，所述内壁将所述发光器件与所述传感器裸片的返回传感器区域光学地分隔开。

6.如权利要求5所述的光学传感器，其中，所述帽盖限定了第一腔室和第二腔室的多个部分，所述第一腔室和所述第二腔室由所述内壁分隔开。

7.如权利要求5所述的光学传感器，其中，所述沟槽的所述第二部分包括第一通气孔和第二通气孔，所述第一通气孔位于所述第一腔室中，所述第二通气孔位于所述第二腔室中。

8.如权利要求1所述的光学传感器，其中，所述传感器裸片通过裸片附接膜附接至所述衬底。

9.如权利要求1所述的光学传感器，进一步包括第二通孔，所述第二通孔延伸穿过所述衬底并与所述沟槽流体连通，所述第二通孔被所述传感器裸片所覆盖。

10.一种形成光学传感器的方法，包括：

形成通气路径，所述通气路径包括在衬底的第一表面处的沟槽和穿过所述衬底的通孔；

将传感器裸片附接至所述衬底的所述第一表面，所述传感器裸片覆盖所述沟槽的第一部分，所述沟槽的第二部分未被所述传感器裸片所覆盖；

将所述传感器裸片电耦合至所述衬底；以及

将帽盖耦合至所述衬底以形成至少一个腔室，所述沟槽的所述第二部分与所述至少一个腔室流体连通。

11.如权利要求10所述的方法，所述衬底包括阻焊层，其中，形成沟槽包括在所述阻焊层中形成沟槽。

12.如权利要求10所述的方法，进一步包括：

将发光器件附接至所述传感器裸片；以及

将所述发光器件电耦合至所述衬底。

13.如权利要求12所述的方法，其中，将所述帽盖耦合至所述衬底包括将所述帽盖的侧壁耦合至所述衬底，所述帽盖包括内壁使得所述至少一个腔室包括第一腔室和第二腔室，所述内壁将所述第一腔室中的所述发光器件与所述第二腔室中的所述传感器裸片的返回传感器区域光学地分隔开。

14.如权利要求13所述的方法，其中，所述沟槽的所述第二部分包括第一通气孔和第二通气孔，所述第一通气孔位于所述第一腔室中，所述第二通气孔位于所述第二腔室中。

15.如权利要求10所述的方法，其中，将传感器裸片附接至所述衬底的所述第一表面包括用裸片附接膜将所述传感器裸片附接至所述衬底的所述第一表面。

16.如权利要求10所述的方法，进一步包括：

形成第二通孔，所述第二通孔穿过所述衬底并与所述沟槽流体连通。