[发明专利]一种主动冷却耐高温电绝缘防腐蚀粒子流热头探针

权利要求书

1.一种主动冷却耐高温电绝缘防腐蚀粒子流热头探针，其特征在于：包括有位于前端且用于与等离子体接触的钨瓦，钨瓦与铜片紧密连接，铜片下部设置有柱热沉，柱热沉内部为空心结构，柱热沉的内腔中安装有同轴的水冷内轴，水冷内轴内部和外部分别分布有旋向相反的内螺旋片、外螺旋片，水冷内轴的下端连接有进液管，柱热沉的下端连接有出液管；冷却介质从进液管进入水冷内轴内部，通过内螺旋片向前旋转前进，直接到达柱热沉的前端内部，经过换热后再通过外螺旋片向后旋转流出，进而通过出液管导出。

2.根据权利要求1所述的一种主动冷却耐高温电绝缘防腐蚀粒子流热头探针，其特征在于：所述钨瓦安装于偏滤器缝隙或靶板孔洞中，若钨瓦安装于偏滤器缝隙中，钨瓦前部与偏滤器平齐或略高于偏滤器；若钨瓦安装于靶板孔洞中，钨瓦前部与偏滤器平齐或略高于靶板。

3.根据权利要求1所述的一种主动冷却耐高温电绝缘防腐蚀粒子流热头探针，其特征在于：所述柱热沉采用铬锆铜材料制成。

4.根据权利要求3所述的一种主动冷却耐高温电绝缘防腐蚀粒子流热头探针，其特征在于：所述柱热沉内部的空腔为内锥形腔体。

5.根据权利要求1所述的一种主动冷却耐高温电绝缘防腐蚀粒子流热头探针，其特征在于：所述水冷介质为水。

6.根据权利要求5所述的一种主动冷却耐高温电绝缘防腐蚀粒子流热头探针，其特征在于：所述水冷内轴内部为进水水道，水冷内轴外部与柱热沉之间空间为回水水道。

7.根据权利要求6所述的一种主动冷却耐高温电绝缘防腐蚀粒子流热头探针，其特征在于：所述外螺旋片为外螺旋薄片，外螺旋薄片与水冷内轴为一体结构，外螺旋薄片的外尺寸与柱热沉的空腔紧密贴合，回水水流只能从多道外螺旋薄片之间的空间流出，形成旋转出水。

8.根据权利要求6所述的一种主动冷却耐高温电绝缘防腐蚀粒子流热头探针，其特征在于：所述内螺旋片为螺旋扰流片，螺旋扰流片的旋向与外螺旋薄片的旋向相反，在进水压力的推动下，强迫进水旋转向前进入冷却柱热沉前端内部。

9.根据权利要求6所述的一种主动冷却耐高温电绝缘防腐蚀粒子流热头探针，其特征在于：所述柱热沉回水水道下部与出液管之间连接有锥拔段，锥拔段的出水口比进水口大，在进水压力的推动下，回水水道不会对回水水流造成任何阻力。

10.根据权利要求1所述的一种主动冷却耐高温电绝缘防腐蚀粒子流热头探针，其特征在于：所述进液管、出液管末端都焊接有绝缘子，绝缘子外部两端保持10kV以上的耐压等级。

11.根据权利要求1所述的一种主动冷却耐高温电绝缘防腐蚀粒子流热头探针，其特征在于：探针电信号从锥拔段由补偿导线导出。

12.根据权利要求2所述的一种主动冷却耐高温电绝缘防腐蚀粒子流热头探针，其特征在于：所述柱热沉的下端外壁上设有台阶面，柱热沉上位于偏滤器或靶板的下端面与柱热沉的台阶面之间套装有绝缘管。