[发明专利]光刻的显影辅助方法及其设备

权利要求书

1.一种光刻的显影辅助方法，包括：

获取基板存在光刻线宽异常的区域及所述区域的线宽偏离目标线宽的数值；

将非接触式加热装置移动至基板的所述区域，根据所述数值设置加热温度和加热时间对所述基板进行局部加热，以对基板上的光刻胶的显影进行热补偿；

对所述光刻胶进行显影。

2.根据权利要求1所述的光刻的显影辅助方法，其特征在于，还包括对基板进行光刻和对完成光刻后的基板进行线宽测量的步骤，以得到所述基板存在光刻线宽异常的区域及所述区域的线宽偏离目标线宽的数值。

3.根据权利要求2所述的光刻的显影辅助方法，其特征在于，所述进行线宽测量的步骤得到的是基板各位置的线宽数据图。

4.根据权利要求3所述的光刻的显影辅助方法，其特征在于，所述对所述基板进行局部加热的步骤还包括根据所述区域的大小调整所述非接触式加热装置的加热面积的步骤。

5.根据权利要求1所述的光刻的显影辅助方法，其特征在于，所述对所述基板进行局部加热的步骤是在对基板上的光刻胶进行软烘之后进行。

6.根据权利要求1所述的光刻的显影辅助方法，其特征在于，所述对所述基板进行局部加热的步骤包括在显影前进行加热和在显影过程中进行加热。

7.根据权利要求1所述的光刻的显影辅助方法，其特征在于，所述基板是显示面板的基板。

8.一种光刻的显影辅助设备，其特征在于，包括：

线宽异常获取模块，用于获取基板存在光刻线宽异常的区域及所述区域的线宽偏离目标线宽的数值；

非接触式加热装置，用于对所述基板进行局部加热，以对基板上的光刻胶的显影进行热补偿；

位置调节装置，包括用于带动所述非接触式加热装置运动的运动机构；

控制器，用于根据所述数值设置所述非接触式加热装置的加热温度和加热时间，以及根据所述存在光刻线宽异常的区域控制所述位置调节装置带动非接触式加热装置移动至该区域。

9.根据权利要求8所述的光刻的显影辅助设备，其特征在于，所述非接触式加热装置是红外加热装置或热风加热装置。

10.根据权利要求8所述的光刻的显影辅助设备，其特征在于，所述非接触式加热装置包括设于显影工艺区的第一加热装置，和设于基板进入显影工艺区前的暂存区的第二加热装置。