[发明专利]一种LED蒸镀工艺

权利要求书

1.一种LED蒸镀工艺，其特征在于:包括以下步骤：

(1)选择衬底，使用锡为镀层将衬底进行一次蒸镀，蒸镀温度为160～180℃，蒸镀时间为2～3分钟，锡层厚度为1～2um；

(2)向一次蒸镀后的衬底表面涂上强化剂，然后进行烘烤，烘烤时间为45～55分钟，烘烤温度为75～85℃；

(3)对烘烤后的衬底进行二次蒸镀，二次蒸镀为真空状态，真空度为10^-4～10^-5pa，二次蒸镀温度为480～500℃，二次蒸镀时间为7～9分钟，锡层厚度为9～10um；

(4)二次蒸镀后将真空度调整为10^-1～10^-2pa，温度调整为210～220℃，保持时间为10～15分钟；

(5)将步骤(4)处理过的蒸镀衬底用风机冷却至常温，得到成品。

2.根据权利要求1所述一种LED蒸镀工艺，其特征在于：所述强化剂是锡酸钠和氢氧化钠，锡酸钠与氢氧化钠的比例为9:1或11:1。

3.根据权利要求1所述一种LED蒸镀工艺，其特征在于：包括以下步骤：

(1)选择衬底，使用锡为镀层将衬底进行一次蒸镀，蒸镀温度为160℃，蒸镀时间为2分钟，锡层厚度为1um；

(2)向一次蒸镀后的衬底表面涂上强化剂，然后进行烘烤，烘烤时间为45分钟，烘烤温度为75℃；

(3)对烘烤后的衬底进行二次蒸镀，二次蒸镀为真空状态，真空度为10^-4pa，二次蒸镀温度为480℃，二次蒸镀时间为7分钟，锡层厚度为9um；

(4)二次蒸镀后将真空度调整为10^-1pa，温度调整为210℃，保持时间为10分钟，使得蒸镀后锡层的稳定性高；

(5)将步骤(4)处理过的蒸镀衬底用风机冷却至常温，得到成品。

4.根据权利要求1所述一种LED蒸镀工艺，其特征在于：包括以下步骤：

(1)选择衬底，使用锡为镀层将衬底进行一次蒸镀，蒸镀温度为170℃，蒸镀时间为2分钟，锡层厚度为1um；

(2)向一次蒸镀后的衬底表面涂上强化剂，然后进行烘烤，烘烤时间为50分钟，烘烤温度为80℃；

(3)对烘烤后的衬底进行二次蒸镀，二次蒸镀为真空状态，真空度为10^-4pa，二次蒸镀温度为490℃，二次蒸镀时间为8分钟，锡层厚度为10um；

(4)二次蒸镀后将真空度调整为10^-2pa，温度调整为215℃，保持时间为13分钟，使得蒸镀后锡层的稳定性高；

(5)将步骤(4)处理过的蒸镀衬底用风机冷却至常温，得到成品。

5.根据权利要求1所述一种LED蒸镀工艺，其特征在于：包括以下步骤：

(1)选择衬底，使用锡为镀层将衬底进行一次蒸镀，蒸镀温度为180℃，蒸镀时间为3分钟，锡层厚度为2um；

(2)向一次蒸镀后的衬底表面涂上强化剂，然后进行烘烤，烘烤时间为55分钟，烘烤温度为85℃；

(3)对烘烤后的衬底进行二次蒸镀，二次蒸镀为真空状态，真空度为10^-5pa，二次蒸镀温度为500℃，二次蒸镀时间为9分钟，锡层厚度为10um；

(4)二次蒸镀后将真空度调整为10^-2pa，温度调整为220℃，保持时间为15分钟，使得蒸镀后锡层的稳定性高；

(5)将步骤(4)处理过的蒸镀衬底用风机冷却至常温，得到成品。