[发明专利]一种光路切换系统

说明书

本发明提供一种光路切换系统，所述光路切换系统至少包括：真空管路；设置在真空管路一端的样品系统腔，用于放置待测样品；设置在所述真空管路上至少两个光源光路腔，用于分别引入不同的光源，其中，每个光源光路腔配备有离子泵和真空阀门；设置在所述真空管路上且位于所述样品系统腔和所述光源光路腔之间的真空调节腔。本发明的光路切换系统可以解决角分辨光电子能谱仪集成不同激励光源后各光源之间的相互切换问题，实现在测试过程中各种光源能够相互自由切换的实际需求。

技术领域

本发明属于光电子能谱仪领域，特别是涉及一种光路切换系统。

背景技术

角分辨光电子能谱仪(ARPES)是在超高真空环境下利用光电效应直接观测固体材料的电子结构的方法，被誉为“一个可以看见电子结构的显微镜”，是观察固体材料电子结构的最佳利器。而激励光源是角分辨光电子能谱仪能够正常工作的关键组成，其作用是激发电子逸出被测材料表面。目前常规角分辨光电子能谱仪一般采用稀有气体电离作为激发光源。但随着角分辨光电子能谱仪技术的发展，越来越多的设备开始配置深紫外激光光源(DUV)以及具有时间分辨的周期超短脉冲高次谐波光源(HHG)等先进光源以充分发挥角分辨光电子能谱仪的优势。角分辨光电子能谱仪集成深紫外激光光源，可大大提高样品穿透能力从而可以很好甄别表面和体电子效应，同时可以用于表面下一定深度的界面电子态的研究(如用于研究界面二维电子气或界面超导等现象)，突破传统ARPES的研究范围；集成周期超短脉冲光源，可以发展双光子光电子能谱技术，获得电子的时域行为和非平衡状态下的电子结构，突破传统的电子能谱测量不具有时间分辨能力的限制。

在角分辨光电子能谱仪配备多种激励光源的情况下，能够实现设备在服役状态下各种光源相互自由切换格外重要。因此，本发明提供一种光路切换系统，实现各种光源之间的自由切换。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种光路切换系统，用于解决现有技术中角分辨光电子能谱仪集成不同激励光源后各光源之间的相互切换问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种光路切换系统，所述光路切换系统至少包括：

真空管路；

设置在真空管路一端的样品系统腔，用于放置待测样品；

设置在所述真空管路上至少两个光源光路腔，用于分别引入不同的光源，其中，每个光源光路腔配备有离子泵和真空阀门；

设置在所述真空管路上且位于所述样品系统腔和所述光源光路腔之间的真空调节腔。

作为本发明光路切换系统的一种优化的方案，所述光源光路腔中安装有电动平移台、高度调节平台、电动镜架以及光阑；

所述电动平移台固定在所述高度调节平台上；

所述电动镜架固定在所述电动平移台上，所述电动镜架上安装有反射镜，

所述光阑安装在高度调节平台上，用于调节光路。

作为本发明光路切换系统的一种优化的方案，所述电动平移台通过螺丝固定在所述高度调节平台上，所述电动镜架通过螺丝固定在所述电动平移台上。

作为本发明光路切换系统的一种优化的方案，所述真空调节腔中安装有光阑和活动的聚焦透镜。

作为本发明光路切换系统的一种优化的方案，所述样品系统腔的光线入射口也具有真空阀门。

作为本发明光路切换系统的一种优化的方案，所述样品系统腔为角分辨光电子光谱仪。

作为本发明光路切换系统的一种优化的方案，所述光源光路腔为两个，一个定义为第一光源光路腔，所述第一光源光路腔用于实现超短脉冲探测光和红外泵浦光的共轴合束；另一个定义为第二光源光路腔，所述第二光源光路腔用作深紫外激光的光路调节。