[发明专利]一种中红外光波导结构有效
| 申请号： | 201710276176.3 | 申请日： | 2017-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN107037661B | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 陈秉蔚;黄田野 | 申请（专利权）人： | 中国地质大学(武汉) |
| 主分类号： | G02F1/365 | 分类号： | G02F1/365;G02F1/35 |
| 代理公司： | 42238 武汉知产时代知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曹雄 |
| 地址： | 430074 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 红外光 波导 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种中红外光波导结构，其特征在于：所述中红外光波导结构由上覆盖层、狭缝、下覆盖层和基座组成，所述下覆盖层位于基座之上，所述狭缝位于上覆盖层和下覆盖层之间，所述上覆盖层和下覆盖层采用材料金属银，狭缝采用材料是锗材料，所述基座是硅材质，所述上覆盖层和下覆盖层的高度hAg＝1μm，所述狭缝的高度hGe的值在10-50nm之间，所述狭缝的宽度w的值在200-1000nm之间，所述基座的高度hSi的值是2μm，整体波导长度为1.6-4.8μm。
2.如权利要求1所述的中红外光波导结构，其特征在于：所述狭缝的高度hGe的值在10nm，所述狭缝的宽度w的值在300nm。
3.如权利要求2所述的中红外光波导结构，其特征在于：所述波导结构长度为1.6μm。
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