[发明专利]基于二维碲化镓材料场效应管的真空退火方法

权利要求书

1.一种基于二维碲化镓材料场效应管的真空退火方法，其特征在于包括以下步骤：

步骤一、采用传统的光刻-金属化-剥离工艺，在洁净的10mm×10mm 300nm SiO₂/Si衬底表面制备场效应管的栅极、源极及漏极，其中栅极、源极及漏极的材料为5nm Ti/30nm Au，沟道宽度为2μm-10μm；

步骤二、选取表面光滑无褶皱的GaTe材料，并沿自然解理面将GaTe材料分离为多块；

步骤三、使用思高胶带从GaTe块体材料表面撕离一块厚度为6-8μm的GaTe薄片；

步骤四、将带有GaTe薄片的思高胶带多次粘合分离，直至胶带表面不再光亮，成功附着密集的数百纳米厚度的GaTe片层；为了保护GaTe材料平整的表面，剥离时应使GaTe表面与思高胶带表面充分接触；思高胶带分离时，需要单方向缓慢进行；

步骤五、将带有GaTe片层的思高胶带贴合在厚度为0.5±0.03mm的PDMS薄膜表面，并用棉签均匀按压思高胶带表面使思高胶带与PDMS充分贴合；再迅速将思高胶带与PDMS分离；

步骤六、使用金相显微镜观察PDMS表面，选取厚度均匀的二维GaTe材料进行拍照，并记下二维GaTe材料在PDMS表面的位置；

步骤七、将标记的二维GaTe材料通过对准-转移平台搭接到300nm SiO₂/Si表面的源极与漏极之间；

步骤八、将构筑完毕的二维GaTe场效应管放到内径为15±1mm的石英坩埚中，并使用真空泵机组将石英坩埚内抽真空至10^-5Pa量级，并用氢氧焰将石英坩埚口烤实密封；

步骤九、将密封后的石英坩埚置于150℃-200℃恒温退火炉中保温100-140分钟，然后在空气中进行冷却，完成退火过程。