[发明专利]研磨用组合物及其制造方法以及磁研磨方法

说明书

本发明涉及研磨用组合物及其制造方法以及磁研磨方法。本发明提供磁性颗粒不易发生氧化的研磨用组合物及磁研磨方法。研磨用组合物(1)含有磁性颗粒、用于抑制磁性颗粒的氧化的抗氧化剂、和水。对该研磨用组合物(1)施加磁场而形成含有磁性颗粒的磁粒簇(3)，使磁粒簇(3)接触研磨对象物(5)而对研磨对象物(5)进行研磨。

技术领域

本发明涉及研磨用组合物及其制造方法以及磁研磨方法

背景技术

作为以高精度对材料的表面进行精加工的研磨方法(例如镜面精加工)，已知有磁研磨方法。磁研磨方法为使用在磁性流体、磁粘滞性流体、磁性混合流体等在磁场中会发生反应的功能性流体中混合非磁性的研磨颗粒而得到的浆料作为研磨用组合物的研磨方法，对研磨用组合物施加磁场而形成磁粒簇，使磁粒簇作为研磨工具接触研磨对象物，由此进行研磨。

例如专利文献1中公开了使用含有磁性颗粒、研磨颗粒、用于使胶体尺寸的颗粒稳定的稳定剂、用于调节粘性的添加剂、及载体流体的研磨用组合物的磁研磨方法。另外，专利文献2中公开了使用颗粒分散型混合功能性流体作为研磨用组合物的磁研磨方法。

但是，对于专利文献1、2中公开的研磨用组合物，作为磁性颗粒的铁粉会因与水的接触等而在研磨用组合物中氧化，因此有研磨用组合物的研磨性能经时降低的问题。另外，会由于铁粉的氧化而产生氢气，因此在安全性方面也存在问题。

专利文献3、4中公开了为了抑制磁性颗粒的氧化，用聚合物材料等的保护层被覆磁性颗粒的表面的技术，但其效果不能说充分。另外，由于用保护层被覆磁性颗粒，因此还有需要成本、功夫的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2002-544318号公报

专利文献2：日本特开2010-214505号公报

专利文献3：日本特开2005-40944号公报

专利文献4：日本特开2007-326183号公报

发明内容

发明要解决的问题

因此，本发明的课题在于，解决上述那样的现有技术所具有的问题，提供磁性颗粒不易发生氧化的研磨用组合物及其制造方法以及磁研磨方法。

用于解决问题的方案

为了解决前述问题，本发明的一个方案的研磨用组合物的主旨在于，含有磁性颗粒、用于抑制磁性颗粒的氧化的抗氧化剂、和水。

另外，本发明的又一方案的磁研磨方法的主旨在于，其是使用上述一个方案的研磨用组合物对研磨对象物进行研磨的磁研磨方法，所述研磨方法包含如下工序：对所述研磨用组合物施加磁场而形成含有磁性颗粒的磁粒簇，使磁粒簇接触研磨对象物而对研磨对象物进行研磨。

进而，本发明的又一方案的研磨用组合物的制造方法的主旨在于，其是制造上述一个方案的研磨用组合物的方法，所述制造方法包含将含有磁性颗粒的第1成分和含有水的第2成分混合的工序。

发明的效果

本发明的研磨用组合物的磁性颗粒不易发生氧化。另外，本发明的研磨用组合物的制造方法能够得到磁性颗粒不易发生氧化的研磨用组合物。进而，本发明的磁研磨方法由于磁性颗粒不易发生氧化，因此能够以高精度对研磨对象物进行精加工的研磨。

附图说明

图1为说明本发明的磁研磨方法的一个实施方式的图。

附图标记说明