[发明专利]一种快门装置有效

专利信息
申请号: 201710210543.X 申请日: 2017-03-31
公开(公告)号: CN108663871B 公开(公告)日: 2021-06-25
发明(设计)人: 王彦飞;章富平;贾翔 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G03B9/14 分类号: G03B9/14;G03B9/08
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 快门 装置
【权利要求书】:

1.一种快门装置,其特征在于,包括遮光运动模块和运动控制模块,所述运动控制模块控制所述遮光运动模块运动,所述遮光运动模块包括遮光单元、驱动单元和信号测量单元,所述遮光单元包括两个叶片,所述运动控制模块发出一控制信号,所述驱动单元接收所述控制信号并驱动所述两个叶片运行,在持续曝光的过程中,所述信号测量单元实时测量并反馈所述两个叶片的运行状态给运动控制模块,所述运动控制模块根据曝光的剂量大小和控制精度需求,计算出当前的曝光剂量和理论曝光剂量的误差,如果误差小于控制精度,则依据反馈的运行状态更新所述控制信号,控制所述两个叶片关闭停止曝光,否则继续曝光直到满足剂量需求。

2.如权利要求1所述的快门装置,其特征在于,所述驱动单元和信号测量单元均为两个,与所述两个叶片一一对应设置。

3.如权利要求2所述的快门装置,其特征在于,所述驱动单元包括电机,所述电机驱动所述两个叶片运动实现所述快门装置的开合。

4.如权利要求2所述的快门装置,其特征在于,所述遮光运动模块还包括固定轴单元,所述固定轴单元包括轴承座、旋转轴和轴承,所述旋转轴贯穿所述轴承设置在轴承座中,所述两个叶片中连接所述旋转轴设置在所述轴承座一侧,所述驱动单元连接所述旋转轴设置在所述轴承座另一侧。

5.如权利要求4所述的快门装置,其特征在于,所述遮光单元还包括叶片转接板,所述两个叶片通过所述叶片转接板与所述旋转轴连接。

6.如权利要求5所述的快门装置,其特征在于,所述叶片转接板与所述旋转轴之间设有隔热板。

7.如权利要求1所述的快门装置,其特征在于,保证所述两个叶片闭合时不漏光的条件是叶片旋转角度误差α满足如下公式:

其中,M为叶片重合量,Mmin为叶片最小重合量,R为叶片旋转半径。

8.如权利要求4所述的快门装置,其特征在于,所述信号测量单元包括位置传感器,所述位置传感器用于实时检测所述两个叶片的位置。

9.如权利要求8所述的快门装置,其特征在于,所述位置传感器包括旋转编码器或圆形光栅尺,所述旋转编码器或圆形光栅尺固定在旋转轴的末端,实时检测所述两个叶片的旋转角度。

10.如权利要求8所述的快门装置,其特征在于,所述位置传感器包括直线光栅尺。

11.如权利要求1所述的快门装置,其特征在于,所述运动控制模块包括处理器、触发器和控制器,所述处理器给触发器下达曝光指令,所述触发器根据曝光指令触发控制器,所述处理器通过通讯接口与控制器进行通讯,所述控制器根据通讯信息控制所述遮光运动模块运动。

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