[发明专利]一种电子枪维护用真空密封装置有效
| 申请号: | 201710190801.2 | 申请日: | 2017-03-28 |
| 公开(公告)号: | CN107120435B | 公开(公告)日: | 2018-09-21 |
| 发明(设计)人: | 王莹;程红艳;华磊 | 申请(专利权)人: | 嘉兴日雅光电有限公司 |
| 主分类号: | F16J15/46 | 分类号: | F16J15/46;C22B9/22 |
| 代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 李伊飏 |
| 地址: | 314011 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 电子枪 维护 真空 密封 装置 | ||
一种电子枪维护用真空密封装置,它涉及一种电子束熔炼炉使用的电子枪维护更换真空密封装置。以解决现有技术中的电子枪直接安装于真空电子束熔炼炉的真空室内,对电子枪的保养及维护费时费力,真空电子束熔炼炉使用效率低下,真空室的密闭性降低,导致真空室的使用寿命降低的问题,所述真空密封装置包括真空泵、电子枪外罩02及密封门总成03,电子枪外罩竖直设置于电子束熔炉的真空室顶端并与所述真空室固接连通,密封板总成设置于电子枪外罩内的底端,电子枪定位固定总成安装于电子枪外罩内,电子枪安装于电子枪定位固定总成上。本发明用于电子枪维护更换时对真空室进行密封使用。
技术领域
本发明涉及一种电子枪真空密封装置,尤其涉及一种电子束熔炼炉使用的电子枪维护用真空密封装置。
背景技术
电子枪是真空电子束熔炼炉的重要组成部分,所以对电子枪要进行定期保养、维修及更换。现有技术中的电子枪直接安装于真空电子束熔炼炉的真空室内,需要打开真空室,才能对电子枪进行保养及维修,保养及维修完毕后,再对真空室进行抽真空处理,使得电子枪的保养及维护费时费力,导致真空电子束熔炼炉使用效率低下,并且使用一段时间后,真空室的密闭性降低,导致真空室的使用寿命降低。
发明内容
本发明的一个目的是要提供一种电子枪维护用真空密封装置,以解决现有技术中的电子枪直接安装于真空电子束熔炼炉的真空室内,导致对电子枪的保养及维护费时费力,导致真空电子束熔炼炉使用效率低下,真空室的密闭性降低,导致真空室的使用寿命降低的问题。
本发明为解决上述问题采取的技术方案是:所述装置包括电子枪及电子枪定位固定总成;
所述真空密封装置还包括:真空泵、电子枪外罩、密封门总成、第一动力源及第二动力源。
电子枪外罩竖直设置于电子束熔炉的真空室顶端且与所述真空室相连通,密封门总成设置于电子枪外罩与所述真空室之间,电子枪定位固定总成安装于电子枪外罩内,电子枪安装于电子枪定位固定总成上;
密封门总成包括密封板、横向板总成及纵向板总成,密封板水平设置于电子枪外罩的内腔低端,密封板与电子枪外罩密封固接,密封板的板面开设有方形通孔;
横向板总成包括第一长方形板、第二长方形板、第三长方形板、第四长方形板及两条导轨,每条导轨水平固接于方形通孔的一个横向侧壁上,两条导轨相对设置,第一长方形板、第二长方形板、第三长方形板及第四长方形板的尺寸相一致,第一长方形板、第二长方形板、第三长方形板及第四长方形板依次水平并行且相互呈间隙设置于两条导轨之间的方形通孔中,第一长方形板的外侧长边与方形孔的竖向侧壁相平行设置且转动密封连接,第一长方形板的内侧长边与第二长方形板的一个长边转动密封连接,第二长方形板的另一个长边与第三长方形板的一个长边贴合并密封设置,第三长方形板的另一个长边与第四长方形板的内侧长边转动密封连接,第四长方形板的外侧长边与方形通孔的另一个竖向侧壁转动密封连接,第二长方形板的每个宽边固接有一个第一滑轮,每个第一滑轮安装于一条导轨内,第三长方形板的每个宽边固接有一个第二滑轮,每个第二滑轮安装于一条导轨内,第一动力源带动第一长方形板与第二长方形板同步转动连接;
纵向板总成包括第五长方形板及第六长方形板,第五长方形板与第六长方形板均水平放置且相互并行呈间距设置于密封板顶面,第五长方形板与第一长方形板垂直设置,第五长方形板的外侧长边与方形孔的一个竖向侧壁转动连接,第六长方形板的外侧长边与方形孔的另一个竖向侧壁转动连接,方形孔的两个竖向侧壁分别与第一长方形板至第四长方形板呈间隙设置,所述间隙分别被第五长方形板以及第六长方形板密封覆盖,第二动力源带动第五长方形板与第六长方形板同步转动连接,真空泵与电子枪外罩相连接。
与现有技术相比较,本发明的有益效果:
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