[发明专利]一种电子枪维护用真空密封装置有效
| 申请号: | 201710190801.2 | 申请日: | 2017-03-28 |
| 公开(公告)号: | CN107120435B | 公开(公告)日: | 2018-09-21 |
| 发明(设计)人: | 王莹;程红艳;华磊 | 申请(专利权)人: | 嘉兴日雅光电有限公司 |
| 主分类号: | F16J15/46 | 分类号: | F16J15/46;C22B9/22 |
| 代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 李伊飏 |
| 地址: | 314011 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 电子枪 维护 真空 密封 装置 | ||
1.一种电子枪维护用真空密封装置,所述真空密封装置包括:电子枪(01)及电子枪定位固定总成(04),
其特征在于,所述真空密封装置还包括:真空泵、电子枪外罩(02)、密封门总成(03)、第一动力源及第二动力源,
电子枪外罩(02)竖直设置于电子束熔炉的真空室(05)顶端且与所述真空室(05)相连通,密封门总成(03)设置于电子枪外罩(02)与所述真空室(05)之间,电子枪定位固定总成(04)安装于电子枪外罩(02)内,电子枪(01)安装于电子枪定位固定总成(04)上;
密封门总成(03)包括密封板(31)、横向板总成及纵向板总成,密封板(31)水平设置于电子枪外罩(02)的内腔低端,密封板(31)与电子枪外罩(02)密封固接,密封板(31)的板面开设有方形通孔;
横向板总成包括第一长方形板(33)、第二长方形板(34)、第三长方形板(35)、第四长方形板(36)及两条导轨(32),每条导轨(32)水平固接于方形通孔的一个横向侧壁上,两条导轨(32)相对设置,第一长方形板(33)、第二长方形板(34)、第三长方形板(35)及第四长方形板(36)的尺寸相一致,第一长方形板(33)、第二长方形板(34)、第三长方形板(35)及第四长方形板(36)依次水平并行且相互呈间隙设置于两条导轨(32)之间的方形通孔中,第一长方形板(33)的外侧长边与方形孔的竖向侧壁相平行设置且转动密封连接,第一长方形板(33)的内侧长边与第二长方形板(34)的一个长边转动密封连接,第二长方形板(34)的另一个长边与第三长方形板(35)的一个长边贴合并密封设置,第三长方形板(35)的另一个长边与第四长方形板(36)的内侧长边转动密封连接,第四长方形板(36)的外侧长边与方形通孔的另一个竖向侧壁转动密封连接,第二长方形板(34)的每个宽边固接有一个第一滑轮(37),每个第一滑轮(37)安装于一条导轨(32)内,第三长方形板(35)的每个宽边固接有一个第二滑轮(38),每个第二滑轮(38)安装于另一条导轨(32)内,第一动力源带动第一长方形板(33)与第二长方形板(34)同步转动连接;
纵向板总成包括第五长方形板(39)及第六长方形板(61),第五长方形板(39)与第六长方形板(61)均水平放置且相互并行呈间距设置于密封板(31)顶面,第五长方形板(39)与第一长方形板(33)垂直设置,第五长方形板(39)的外侧长边与方形孔的一个竖向侧壁转动连接,第六长方形板(61)的外侧长边与方形孔的另一个竖向侧壁转动连接,方形孔的两个竖向侧壁分别与第一长方形板(33)至第四长方形板(36)呈间隙(62)设置,所述间隙(62)分别被第五长方形板(39)以及第六长方形板(61)密封覆盖,第二动力源带动第五长方形板(39)与第六长方形板(61)同步转动连接,真空泵与电子枪外罩(02)相连接。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述真空密封装置还包括两个第一连接臂(64)以及两个第二连接臂(65),
第二长方形板(34)的两个长边以及第三长方形板(35)的两个长边分别固接有真空密封条(63),第一长方形板(33)的内侧长边以及第四长方形板(36)的内侧长边均固接有真空密封条(63),
每个第一连接臂(64)的一端与第一长方形板(33)内侧长边处的一个宽侧壁转动连接,每个第一连接臂(64)的另一端与第二长方形板(34)所述一个长边处的宽侧壁转动连接,
每个第二连接臂(65)的一端与第四长方形板(36)内侧长边处的一个宽侧壁转动连接,每个第二连接臂(65)的另一端与第三长方形板(35)所述一个长边处的宽侧壁转动连接。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,每个第一滑轮(37)的固接位置为靠近第二长方形板(34)所述另一个长边的宽侧壁处,每个第二滑轮(38)的固接位置为靠近第三长方形板(35)所述一个长边的宽侧壁处。
4.根据权利要求3所述的装置,其特征在于,第五长方形板(39)的底面以及第六长方形板(61)的底面均固接有密封垫(66),密封垫(66)的底面凸起形成长条形密封块(67),所述长条形密封块(67)的形状与所述间隙(62)的形状相一致。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的装置,其特征在于,第一动力源包括第一齿轮传动总成(71),第二动力源包括第二齿轮传动总成(81),
第一长方形板(33)的所述外侧长边的两端分别固接有一根第一轴(73),每根第一轴(73)沿第一长方形板(33)的长边方向穿射出电子枪外罩(02),且每根第一轴(73)与电子枪外罩(02)的所述穿射处为密封设置,每根第一轴(73)的外端固接有一个第一齿轮(74),每个第一齿轮(74)与第一齿轮传动总成(71)相应的动力输出齿轮相啮合,
第四长方形板(36)的所述外侧长边的两端分别固接有一根第二轴(75),每根第二轴(75)沿第四长方形板(36)的长边方向穿射出电子枪外罩(02),且每根第二轴(75)与电子枪外罩(02)的所述穿射处为密封设置,每根第二轴(75)的外端固接有一个第二齿轮(76),每个第二齿轮(76)与第一齿轮传动总成(71)相应的动力输出齿轮相啮合;
第五长方形板(39)的所述外侧长边的两端分别固接有一根第三轴(82),每根第三轴(82)沿第五长方形板(39)的长边方向穿射出电子枪外罩(02),且每根第三轴(82)与电子枪外罩(02)的所述穿射处为密封设置,每根第三轴(82)的外端固接有一个第三齿轮(83),每个第三齿轮(83)与第二齿轮传动总成(81)相应的动力输出齿轮相啮合,
第六长方形板(61)的所述外侧长边的两端分别固接有一根第四轴(84),每根第四轴(84)沿第六长方形板(61)的长边方向穿射出电子枪外罩(02),且每根第四轴(84)与电子枪外罩(02)的所述穿射处为密封设置,每根第四轴(84)的外端固接有一个第四齿轮(85),每个第四齿轮(85)与第二齿轮传动总成(81)相应的动力输出齿轮相啮合。
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