[发明专利]靶坯的加工方法

权利要求书

1.一种靶坯的加工方法，其特征在于，包括：

提供含钨初始靶坯，所述初始靶坯包括第一焊接面、与所述第一焊接面相对的溅射面、以及位于所述第一焊接面与所述溅射面之间的第一侧面；

提供背板，所述背板包括第二焊接面、与所述第二焊接面相对的背面、以及位于所述第二焊接面和背面之间的第二侧面；将所述第一焊接面和第二焊接面相对设置并贴合，通过焊接工艺将所述初始靶坯焊接于所述背板上；

采用80度外圆开粗刀，对所述第一侧面进行侧面粗车加工；

所述侧面粗车加工的参数包括：切削速度为19.9毫米/分钟至20.1毫米/分钟，吃刀量为0.05毫米至0.2毫米，所述初始靶坯的转速为200转/分钟至300转/分钟；

对所述溅射面进行第一车削加工，在所述溅射面中心处形成中心孔；所述第一车削加工的参数包括：切削速度为9.9毫米/分钟至10.1毫米/分钟，吃刀量为0.05毫米至0.2毫米，所述初始靶坯的转速为100转/分钟至200转/分钟；所述中心孔的深度为4毫米至4.5毫米；

沿所述中心孔指向所述第一侧面的方向，对所述溅射面进行第二车削加工，使所述溅射面为向所述第一焊接面凹陷的弧面，第二车削加工后的所述初始靶坯作为靶坯；

对所述溅射面进行第二车削加工的步骤包括：对所述溅射面进行溅射面粗车加工；在所述溅射面粗车加工后，对所述溅射面进行溅射面精车加工；

采用80度内圆开粗刀，对所述溅射面进行溅射面粗车加工；

所述溅射面粗车加工的参数包括：切削速度为19.9毫米/分钟至20.1毫米/分钟，吃刀量为0.05毫米至0.2毫米，所述初始靶坯的转速为200转/分钟至300转/分钟；

采用80度内圆开粗刀，对所述溅射面进行溅射面精车加工；

所述溅射面精车加工的参数包括：切削速度为19.9毫米/分钟至20.1毫米/分钟，吃刀量为0.05毫米至0.2毫米，所述初始靶坯的转速为200转/分钟至300转/分钟；

采用80度外圆开粗刀，对所述第一侧面进行侧面精车加工；

所述侧面精车加工的参数包括：切削速度为19.9毫米/分钟至20.1毫米/分钟，吃刀量为0.05毫米至0.2毫米，所述初始靶坯的转速为200转/分钟至300转/分钟。

2.如权利要求1所述的靶坯的加工方法，其特征在于，所述初始靶坯的材料为钨或钨钛。

3.如权利要求1所述的靶坯的加工方法，其特征在于，所述初始靶坯的形状为圆柱体；

在所述第二车削加工后，所述溅射面为向所述第一焊接面凹陷的圆弧面。

4.如权利要求3所述的靶坯的加工方法，其特征在于，在所述第二车削加工后，所述溅射面的弧半径是2301毫米至2303毫米。

5.如权利要求1所述的靶坯的加工方法，其特征在于，在所述第二车削加工后，所述溅射面的弧面深度为4.64毫米至4.84毫米。

6.如权利要求1所述的靶坯的加工方法，其特征在于，采用10毫米钻头对所述溅射面进行第一车削加工。

7.如权利要求1所述的靶坯的加工方法，其特征在于，在平行于所述第二焊接面的方向上，所述初始靶坯凸出于所述第二焊接面；

对所述第一侧面进行侧面精车加工后，所述第一侧面与所述第二侧面齐平。