[发明专利]强化玻璃加工孔的方法及装置

权利要求书

1.一种强化玻璃加工孔的方法，其特征在于，包括：

选取强化玻璃的一个表面作为入射面，第一超短脉冲激光和第二超短脉冲激光照射所述入射面，使所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃内部靠近所述入射面的位置处聚焦；基于自聚焦效应，所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃的内部形成间隔的多个焦点；在所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光的能量作用下，所述强化玻璃内部对应多个所述焦点处形成多个微裂纹，多个所述微裂纹相间隔；

在所述入射面对应所述微裂纹处注入强碱溶液，所述强碱溶液溶蚀相邻两个所述微裂纹之间的强化玻璃材料，使多个此时处于间隔状态的所述微裂纹相连接，形成贯穿所述强化玻璃的孔。

2.如权利要求1所述的强化玻璃加工孔的方法，其特征在于，在所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光照射所述入射面的步骤中包括：

第一激光器发出第一超短脉冲激光，第二激光器发出第一超短脉冲激光；

控制所述第一超短脉冲激光和所述第一超短脉冲激光照射所述入射面的角度，使所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃内部靠近所述入射面的位置处聚焦。

3.如权利要求2所述的强化玻璃加工孔的方法，其特征在于，所述第一激光器包括如下的任意一种：皮秒激光器、飞秒激光器、亚皮秒激光器；

相应地，所述第一超短脉冲激光的脉宽包括如下的任意一种：皮秒、飞秒、亚皮秒。

4.如权利要求2所述的强化玻璃加工孔的方法，其特征在于，所述第二激光器包括如下的任意一种：皮秒激光器、飞秒激光器、亚皮秒激光器；

相应地，所述第二超短脉冲激光的脉宽包括如下的任意一种：皮秒、飞秒、亚皮秒。

5.如权利要求1所述的强化玻璃加工孔的方法，其特征在于，在所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光照射所述入射面的步骤中包括：

激光器发出超短脉冲激光；

光学多焦点聚焦装置将所述超短脉冲激光分割成第一超短脉冲激光和第二超短脉冲激光；

使所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃内部靠近所述入射面的位置处聚焦。

6.如权利要求1所述的强化玻璃加工孔的方法，其特征在于，在使所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃内部靠近所述入射面的位置处聚焦的步骤中，

所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃内部靠近所述入射面的位置处聚焦形成起始焦点；

相应地，所述强化玻璃对应所述起始焦点处形成起始微裂纹，所述起始微裂纹沿所述强化玻璃厚度方向的一端顶接所述入射面。

7.如权利要求1所述的强化玻璃加工孔的方法，其特征在于，在第一超短脉冲激光和第二超短脉冲激光照射所述入射面的步骤之前，所述方法还包括：使用压缩气体对所述入射面进行吹扫清理操作，以清除所述入射面上的杂质。

8.如权利要求1所述的强化玻璃加工孔的方法，其特征在于，所述强碱溶液的PH值大于或等于12，所述强碱溶液的溶质包括如下的任意一种：氢氧化钾、氢氧化钠。

9.如权利要求1所述的强化玻璃加工孔的方法，其特征在于，在所述入射面对应所述微裂纹处注入强碱溶液的步骤中，所述强碱溶液对形成的所述孔的边缘进行溶解打磨，以使所述孔的边缘光滑。

10.一种强化玻璃加工孔的装置，其特征在于，包括：超短脉冲激光源模块和强碱溶液注入模块；

选取强化玻璃的一个表面作为入射面，所述超短脉冲激光源模块产生的第一超短脉冲激光和第二超短脉冲激光照射所述入射面，使所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃内部靠近所述入射面的位置处聚焦；基于自聚焦效应，所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃的内部形成间隔的多个焦点；在所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光的能量作用下，所述强化玻璃对应多个所述焦点处形成多个微裂纹，多个所述微裂纹相间隔；

所述强碱溶液注入模块在所述入射面对应所述微裂纹处注入强碱溶液，所述强碱溶液溶蚀相邻两个所述微裂纹之间的强化玻璃材料，使多个此时处于间隔状态的所述微裂纹相连接，形成贯穿所述强化玻璃的孔。