[发明专利]一种直写曝光光路系统及其一次性直写曝光方法

权利要求书

1.一种直写曝光光路系统，所述光路系统包括多排DMD组件，每排上有多个DMD组件且这多个DMD组件成直线排列；相邻两排DMD组件交错分布，每个DMD组件在扫描方向上都对应在相邻排两个DMD组件之间的位置；每排上相邻两个DMD组件之间在扫描方向上不能被覆盖的空白区域，在其它各排依次对应有DMD组件；各DMD组件覆盖整个曝光区域；所述DMD组件连接在DMD支架上，所述DMD支架有多个，其形状为直线型，所述每1排DMD组件连接在1个DMD支架上；DMD支架通过连接杆相互连接，连接杆与支架通过螺栓固定；所述多排DMD组件在扫描方向上覆盖的整个条带宽度不小于其所对应的直写曝光设备的吸盘的宽度。

2.根据权利要求1所述的一种直写曝光光路系统，所述多排DMD组件的排数为2-4排。

3.根据权利要求1所述的一种直写曝光光路系统，所述DMD光组件在每排上相邻DMD组件的间隔L≤N*W，其中N为排数，W为单个DMD组件所能曝光条带的宽度。

4.根据权利要求1所述的一种直写曝光光路系统，所述相邻两排DMD组件的间距

H≥W2，其中W2为DMD组件在扫描方向上的宽度。

5.一种一次性直写曝光方法，所述曝光方法是基于权利要求1-4任一所述曝光光路系统的直写曝光方法，所述曝光方法包括如下步骤：

(1)根据所要曝光的图形，分配每个DMD组件所需要曝光的部分；

(2)开始扫描，当前排光路到达扫描图形的起始位置时，Y轴工作台会发出用于DMD进行图形翻转的PSO触发信号，此时前排DMD开始图形翻转，前排光路开始进行曝光扫描；后排DMD保持关闭状态，光路不进行曝光扫描；

(3)随着Y轴工作台的匀速移动，当第2排光路到达扫描图形的起始位置时，Y轴工作台发出的PSO信号开始触发第二排DMD，此时第二排DMD开始图形翻转，第二排光路开始进行曝光扫描；

(4)随着Y轴工作台的匀速移动，所有后排光路如步骤(3)所述依次曝光扫描；

(5)随着Y轴工作台的匀速移动，当前排光路到达扫描图形的结束位置时，Y轴工作台发出的PSO信号停止触发前排DMD，此时前排DMD停止图形翻转，前排光路停止进行曝光扫描；后排DMD保持触发翻转状态，光路继续进行曝光扫描；

(6)当后排光路依次到达扫描图形的结束位置时，Y轴工作台停止发送PSO信号，后排DMD依次停止图形翻转，后排光路依次停止进行曝光扫描，直到最后一排DMD停止曝光，至此整个图形一次扫描完毕。

6.一种一次性直写曝光方法，所述曝光方法是基于直写曝光光路系统的直写曝光方法，所述直写曝光光路系统具体为：光路系统包括多排DMD组件，每排上有多个DMD组件且这多个DMD组件成直线排列；相邻两排DMD组件交错分布，每个DMD组件在扫描方向上都对应在相邻排两个DMD组件之间的位置；每排上相邻两个DMD组件之间在扫描方向上不能被覆盖的空白区域，在其它各排依次对应有DMD组件；各DMD组件覆盖整个曝光区域；所述DMD组件连接在DMD支架上，所述DMD支架有多个，其形状为直线型，所述每1排DMD组件连接在1个DMD支架上；DMD支架通过连接杆相互连接，连接杆与支架通过螺栓固定；

所述曝光方法包括如下步骤：

(1)根据所要曝光的图形，分配每个DMD组件所需要曝光的部分；

(2)开始扫描，当前排光路到达扫描图形的起始位置时，Y轴工作台会发出用于DMD进行图形翻转的PSO触发信号，此时前排DMD开始图形翻转，前排光路开始进行曝光扫描；后排DMD保持关闭状态，光路不进行曝光扫描；

(3)随着Y轴工作台的匀速移动，当第2排光路到达扫描图形的起始位置时，Y轴工作台发出的PSO信号开始触发第二排DMD，此时第二排DMD开始图形翻转，第二排光路开始进行曝光扫描；

(4)随着Y轴工作台的匀速移动，所有后排光路如步骤(3)所述依次曝光扫描；

(5)随着Y轴工作台的匀速移动，当前排光路到达扫描图形的结束位置时，Y轴工作台发出的PSO信号停止触发前排DMD，此时前排DMD停止图形翻转，前排光路停止进行曝光扫描；后排DMD保持触发翻转状态，光路继续进行曝光扫描；

(6)当后排光路依次到达扫描图形的结束位置时，Y轴工作台停止发送PSO信号，后排DMD依次停止图形翻转，后排光路依次停止进行曝光扫描，直到最后一排DMD停止曝光，至此整个图形一次扫描完毕。