[发明专利]点对称马赫-曾德尔干涉仪设备

权利要求书

1.一种点对称马赫-曾德尔干涉仪PSMZI设备(100)，其特征在于，包括：

三个连续的路径时延段PDS，作为两个外部PDS(102)和一个中心PDS(101)，每个PDS(101，102)包括上波导臂(103)和下波导臂(104)；

四个非对称耦合器AC，每个AC(105)包括上波导部(106)和下波导部(107),所述四个AC(105)呈线对称系列锥LSST型，

其中，每个PDS(101，102)的每一侧都直接设置有一个AC(105)，且所述上下波导部(106，107)分别耦合至所述上下波导臂(103，104)；

在每个PDS(101，102)一侧的AC(105)与所述每个PDS(101，102)另一侧的AC(105)点对称；

设置在所述中心PDS(101)一侧的两个AC(105)和一个外部PDS(102)一起与设置在所述中心PDS(101)另一侧的两个AC(105)和另外一个外部PDS(102)点对称。

2.根据权利要求1所述的PSMZI设备(100)，其特征在于：

所述中心PDS(101)提供的路径差为0。

3.根据权利要求1或2所述的PSMZI设备(100)，其特征在于：

一个外部PDS(102)提供的路径差与另外一个外部PDS(102)在另外一个波导臂(103，104)上提供的路径差相同。

4.根据权利要求1或2所述的PSMZI设备(100)，其特征在于：

所有上波导臂(103)的总路径长度与所有下波导臂(104)的总路径长度相同。

5.根据权利要求1或2所述的PSMZI设备(100)，其特征在于：

设计所述四个AC(105)和所述两个外部PDS(102)，使得设置在所述中心PDS(101)一侧的所述两个AC(105)和所述一个外部PDS(102)所导致的相位差由设置在所述中心PDS(101)另一侧的所述两个AC(105)和所述另外一个外部PDS(102)所导致的相位差来补偿。

6.根据权利要求1或2所述的PSMZI设备(100)，其特征在于：

所述波导臂(103，104)由折射率范围在1.4–4.5之间的材料制成。

7.根据权利要求1或2所述的PSMZI设备(100)，其特征在于：

所述波导臂(103，104)由SiN制成，嵌在由SiO₂制成的包层中。

8.根据权利要求1或2所述的PSMZI设备(100)，其特征在于，还包括：

设在所述中心PDS(101)任一侧且与所述中心PDS(101)点对称的偶数个附加PDS，每个附加PDS包括上波导臂和下波导臂；

偶数个附加AC或对称耦合器SC，每个附加AC或SC包括上波导部和下波导部，

其中，每个附加PDS的每一侧都直接设置有一个AC或SC，且所述上下波导部分别耦合至所述上下波导臂；

在所述附加PDS一侧的所述AC或SC与所述附加PDS另一侧的所述AC或SC点对称。

9.根据权利要求1或2所述的PSMZI设备(100)，其特征在于：

每个AC(105)的每个波导部(106，107)的宽度在1–3μm之间。

10.根据权利要求1或2所述的PSMZI设备(100)，其特征在于：

每个AC(105)的每个波导部(106，107)的宽度变化值在10–1000nm之间。

11.根据权利要求1或2所述的PSMZI设备(100)，其特征在于：

每个AC的所述波导部(106，107)之间的距离在0.25–0.5μm之间。