[发明专利]蒸发源和蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸发源，其特征在于，包括：

第一壳体，所述第一壳体内设有用于容纳坩埚的中空部，所述第一壳体包括至少两个用于围成所述第一壳体的第一本体，相邻两个所述第一本体之间可拆卸连接，且所述第一壳体上设有多个喷嘴。

2.如权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，还包括：包裹于所述第一壳体外的第二壳体，所述第二壳体包括至少两个第二本体，相邻两个所述第二本体之间可拆卸连接，且所述第二壳体上设有与所述喷嘴一一对应且允许对应的所述喷嘴伸出的喷口。

3.如权利要求2所述的蒸发源，其特征在于，任意相邻两个所述第二本体的连接处在所述第一壳体上的投影与任意相邻两个所述第一本体的连接处不重合。

4.如权利要求3所述的蒸发源，其特征在于，所述第一本体的个数为四个；和/或，

所述第二本体的个数为四个。

5.如权利要求2所述的蒸发源，其特征在于，所述第一壳体为圆柱形；和/或，所述第二壳体为圆柱形。

6.如权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，每个所述第一本体内均设有加热单元和用于冷却所述第一本体的冷却单元。

7.如权利要求6所述的蒸发源，其特征在于，还包括：

与所述第一本体一一对应设置的开关，所述开关用于控制对应的第一本体内的加热单元开启和关闭。

8.如权利要求2～7任一项所述的蒸发源，其特征在于，任意相邻两个所述第一本体之间通过卡口和卡扣相互连接；和/或，

任意相邻两个所述第二本体之间通过卡口和卡扣相互连接、且所述相互连接处还设有紧固螺钉，所述紧固螺钉仅将相连两个所述第二本体相互锁紧或所述紧固螺钉将相连的所述第二本体以及相连的所述第一本体均锁紧。

9.如权利要求8所述的蒸发源，其特征在于，任意相邻两个所述第一本体的连接处设有隔热垫片；和/或，

任意相邻两个所述第二本体的连接处设有隔热垫片。

10.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：如权利要求1～9任一项所述的蒸发源。