[发明专利]一种基于飞秒激光直写法制作长周期光纤光栅的系统有效

专利信息
申请号: 201710166313.8 申请日: 2017-03-20
公开(公告)号: CN106707406B 公开(公告)日: 2020-04-24
发明(设计)人: 祝连庆;李达;何巍;闫光;董明利;娄小平;刘锋 申请(专利权)人: 北京信息科技大学
主分类号: G02B6/02 分类号: G02B6/02
代理公司: 北京律恒立业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11416 代理人: 顾珊;庞立岩
地址: 100085 北京市海淀区清*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 激光 写法 制作 周期 光纤 光栅 系统
【说明书】:

一种基于飞秒激光直写法制作长周期光纤光栅的系统,其特征在于:包括钛蓝宝石飞秒激光器、半波片、偏振片、衰减片和高反镜,所述钛蓝宝石飞秒激光器出射的红外激光首先经过半波片、偏振片、衰减片和高反镜,然后通过显微物镜将光斑聚焦在由光纤夹具固定的HI‑1060的光纤上,光纤夹具固定在高精度三维运动平台上。

技术领域

发明涉及长周期光纤光栅领域,特别涉及一种飞秒直写长周期光纤光栅。

背景技术

长周期光纤光栅(long period fiber grating,LPFG)是一种只有透射光谱的光纤传感器,具有不受电磁干扰、质量轻和精度高等优点,因此广泛应用于温度测试、折射率测量、应变测试、光纤激光器等领域。传统的长周期光纤光栅制作方法有紫外曝光掩模板法、高频CO2激光逐点写入法和腐蚀刻槽等方法,但是在光纤载氢处理、高温稳定性、机械强度和灵敏度等方面都具有不同程度的缺陷。飞秒激光作为一种新兴的加工手段,具有超短脉冲、超强峰值功率和高聚焦能力等优点,能够实现超精细三维微加工,其制作的光纤光栅不需要经过载氢处理,并且具有高灵敏度和耐高温等优势。

目前利用飞秒激光刻写长周期光纤光栅一直是国内外研究的热点。2011年LiB等人采用紫外飞秒激光逐点刻写方法实现了谐振波长为1476nm,栅区长度为25mm的LPFG制备,并将LPFG用于液体折射率传感测试,观察到随着折射率的增加,LPFG的透射波长发生蓝移。2012年苗飞等人利用飞秒激光制作出栅区长度为40mm的LPFG并对该LPFG的高温传感特性进行了研究。2014年李海涛等人采用矩形扫描的方式制作了光栅长度为16.5mm的LPFG;2015年Ahmed F等人利用飞秒激光首次在无掺杂的纯硅光纤中制作了光栅长度为26.97mm的LPFG,并对LPFG的高温和折射率特性进行分析,发现随着折射率的增加谐振波长发生蓝移。2016年LiuS等人利用飞秒激光通过加工微孔的方式在光子晶体光纤中制作LPFG,并对该LPFG的应力特性进行了分析。综上所述,利用飞秒激光刻写LPFG的栅区较长,并且液体折射率灵敏度较低。因此,利用飞秒激光制备短栅区、高折射率灵敏度的LPFG具有重要意义。

发明内容

应当理解,前述大体的描述和后续详尽的描述均为示例性说明和解释,并不应当用作对本发明所要求保护内容的限制。

本发明提供了一种基于飞秒激光直写法制作长周期光纤光栅的系统,其特征在于:包括钛蓝宝石飞秒激光器、半波片、偏振片、衰减片和高反镜,所述钛蓝宝石飞秒激光器出射的红外激光首先经过半波片、偏振片、衰减片和高反镜,然后通过显微物镜将光斑聚焦在由光纤夹具固定的HI-1060的光纤上,光纤夹具固定在高精度三维运动平台上。

优选地,所述钛蓝宝石飞秒激光器的中心波长为800nm、脉冲宽度为120fs、重复频率为1kHz。

优选地,所述平台的精度可达到10nm。

优选地,调节所述衰减片将光斑能量衰减到所述光纤的阈值功率附近。

优选地,所述显微物镜为放大倍数为100倍、数值孔径为0.70,用于保证激光光斑能够聚焦到纤芯中。

优选地,所述光纤夹具上方和下方分别安装一个LED照明设备,保证可以通过聚焦物镜上方的CCD观测到飞秒激光光斑在光纤中的聚焦位置和光纤的加工形貌。

附图说明

参考随附的附图,本发明更多的目的、功能和优点将通过本发明实施方式的如下描述得以阐明,其中:

图1示出了根据本发明的光纤带隙能与激光光子能量的关系;

图2示出了飞秒激光制作LPFG系统结构;

图3示出了LPFG刻写轨迹示意图;

图4示出了光学显微镜下的LPFG栅区结构图;

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